Invention Publication
- Patent Title: 一种薄膜晶体管及制作方法和显示面板
-
Application No.: CN201811587013.8Application Date: 2018-12-25
-
Publication No.: CN109713044APublication Date: 2019-05-03
- Inventor: 杨凤云 , 卓恩宗
- Applicant: 惠科股份有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
- Assignee: 惠科股份有限公司
- Current Assignee: 惠科股份有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
- Agency: 深圳市百瑞专利商标事务所
- Agent 邢涛
- Main IPC: H01L29/786
- IPC: H01L29/786 ; H01L21/336

Abstract:
本发明公开了一种薄膜晶体管及制作方法和显示面板。薄膜晶体管包括衬底、第一金属层、第一绝缘层、有源层、掺杂层和第二金属层,其中所述第一金属层设置在所述衬底上;所述第一绝缘层设置在所述第一金属层上;所述有源层设置在所述第一绝缘层上;所述掺杂层设置在所述有源层上;所述第二金属层设置在所述掺杂层上;所述掺杂层包括数量为N的子掺杂层,所述N为大于或等于三的奇数,所述子掺杂层层叠设置,以中间的子掺杂层为对称轴,对称轴两侧相对应的子掺杂层掺杂浓度相等。在大于等于三的奇数层的子掺杂层中,对称结构的掺杂层降漏电效果最好。
Public/Granted literature
- CN109713044B 一种薄膜晶体管及制作方法和显示面板 Public/Granted day:2021-04-13
Information query
IPC分类: