本发明涉及一种装置，该装置在光刻设备(100)的第一结构(10)处布置的第一接口元件(11)和在光刻设备(100)的第二结构(20)处布置的第二接口元件(21)之间传输电信号，其中电导体(30)连接了第一接口元件(11)和所述第二接口元件(21)。装置还具有中空主体(40)，该中空主体(40)至少围绕电导体(30)的区段并且设计为电磁屏蔽电导体(30)。间隙(43)提供在中空主体(40)中或者在中空主体(40)和结构(10、20)中的一个之间，并且间隙(43)允许第一结构(10)和第二结构(20)的相对移动以将第一结构(10)与所述第二结构(20)机械解耦。