本发明公开了一种高精度微孔的加工方法和装置，包括以下步骤：(1)调配打孔电解液，通过推挤泵将电解液通入针头内，定位打孔位置；(2)控制针头尖端的电解液形成微型液珠并与材料表面接触，通过调整针头尖端与加工材料表面的距离、微型液珠尺寸，控制接触面尺寸等于打孔尺寸；(3)在针头与加工材料两端负载恒流电压，微型液珠与加工材料接触部分发生电解腐蚀；(4)随着腐蚀深度加深，控制针头尖端与不同腐蚀层面的距离保持不变，并调节推挤泵对微型液珠进行反馈补偿，使微型液珠内部浓度趋于平衡，液珠尺寸保持稳定，进而完成整个微孔加工过程。本发明的打孔方式属于常温打孔，不会出现二次结晶、开裂等问题，而且打孔尺寸目前可以达到10μm。