Invention Publication
- Patent Title: 一种横向肖特基栅双极晶体管及其制作方法
- Patent Title (English): Lateral Schottky Gate Bipolar Transistor and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201910304385.3Application Date: 2019-04-16
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Publication No.: CN110034183APublication Date: 2019-07-19
- Inventor: 段宝兴 , 孙李诚 , 王彦东 , 杨银堂
- Applicant: 西安电子科技大学
- Applicant Address: 陕西省西安市太白南路2号
- Assignee: 西安电子科技大学
- Current Assignee: 西安电子科技大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市太白南路2号
- Agency: 西安智邦专利商标代理有限公司
- Agent 胡乐
- Main IPC: H01L29/423
- IPC: H01L29/423 ; H01L29/47 ; H01L29/73 ; H01L29/735 ; H01L21/331 ; H01L21/28

Abstract:
本发明提出了一种横向肖特基栅双极晶体管(LSGBT)及其制作方法。该LSGBT器件将LIGBT结构的源漏区与MESFET结构的肖特基栅相结合,使用肖特基栅代替绝缘栅,同时其栅结构与常规MESFET的沟槽栅结构类似,而其余部分则与常规LIGBT结构类似。相比于LIGBT,LSGBT器件结构中不存在寄生的NPN晶体管结构,有利于消除闩锁效应,增强了器件的稳定性;栅控方式由绝缘栅变为肖特基栅,不仅可以降低栅极工艺的复杂度,解决宽带隙半导体材料的氧化问题,还可以保留电压控制器件的优点,即具有高输入阻抗。该LSGBT器件尤其适用于低压大电流领域。
Public/Granted literature
- CN110034183B 一种横向肖特基栅双极晶体管及其制作方法 Public/Granted day:2021-04-13
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