一种横向肖特基栅双极晶体管及其制作方法
Abstract:
本发明提出了一种横向肖特基栅双极晶体管(LSGBT)及其制作方法。该LSGBT器件将LIGBT结构的源漏区与MESFET结构的肖特基栅相结合,使用肖特基栅代替绝缘栅,同时其栅结构与常规MESFET的沟槽栅结构类似,而其余部分则与常规LIGBT结构类似。相比于LIGBT,LSGBT器件结构中不存在寄生的NPN晶体管结构,有利于消除闩锁效应,增强了器件的稳定性;栅控方式由绝缘栅变为肖特基栅,不仅可以降低栅极工艺的复杂度,解决宽带隙半导体材料的氧化问题,还可以保留电压控制器件的优点,即具有高输入阻抗。该LSGBT器件尤其适用于低压大电流领域。
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