一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法
Abstract:
本发明实施例公开了一种基板自动对位夹具装置和自动对位方法。该基板自动对位夹具装置包括:基台;第一组推压夹具和第二组推压夹具,第一组推压夹具中的推压夹具分布在基台相接的两条边上,第二组推压夹具中的推压夹具分布在基台相接的另外两条边上;至少第一组推压夹具中的推压夹具上设置有距离传感器,至少第二组推压夹具中的推压夹具上设置有压力传感器;控制电路,用于根据距离传感器和压力传感器的反馈信号,控制推压夹具移动,直至以预设压力夹持基板。本发明实施例解决了现有基板夹具的夹持位置需要进行人工计算和设定的问题,实现了对基板的自动对位夹持,同时可避免人工设置时由误差等导致的对基板的损坏,提高夹持过程中基板的良率。
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