一种H-3碳化硅PN型同位素电池及其制造方法
Abstract:
本发明公开了一种H-3碳化硅PN型同位素电池及其制造方法,该同位素电池的结构自下而上包括N型欧姆接触电极,N型高掺杂SiC衬底,N型SiC外延层,P型SiC外延层,在P型SiC外延层上部的部分区域设有P型SiC欧姆接触掺杂层,在P型SiC欧姆接触掺杂层的顶部设有P型欧姆接触电极,在P型SiC外延层上部除去P型欧姆接触掺杂区以外的区域设有SiO2钝化层,在SiO2钝化层的上方设有H-3放射性同位素源。本发明设计新颖合理,可以有效解决H-3在表面的辐照生载流子复合损耗问题,有效提高了同位素电池的输出功率、能量转换效率。
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