Invention Publication
- Patent Title: 一种Pm-147碳化硅缓变N区同位素电池及其制造方法
- Patent Title (English): Pm-147 silicon carbide graded N-region isotope battery and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201810130366.9Application Date: 2018-02-08
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Publication No.: CN110556193APublication Date: 2019-12-10
- Inventor: 张林 , 程鸿亮 , 胡笑钏
- Applicant: 长安大学
- Applicant Address: 陕西省西安市南二环中段33号
- Assignee: 长安大学
- Current Assignee: 苏州衡巍光电科技有限公司
- Current Assignee Address: 215200 江苏省苏州市吴江区黎里镇城司路158号
- Agency: 西安通大专利代理有限责任公司
- Agent 徐文权
- Main IPC: G21H1/06
- IPC: G21H1/06 ; H01L31/0312 ; H01L31/0352 ; H01L31/068 ; H01L31/18

Abstract:
本发明公开了一种Pm-147碳化硅缓变N区同位素电池及其制造方法,该同位素电池的结构自下而上包括N型欧姆接触电极,N型高掺杂SiC衬底,N型SiC外延层,N型SiC外延层,在N型SiC外延层上部采用离子注入形成P型SiC欧姆接触掺杂区,在P型SiC欧姆接触掺杂区的顶部中心处设有P型欧姆接触电极,在P型SiC欧姆接触掺杂区的顶部除去P型欧姆接触电极的区域设有SiO2钝化层,在SiO2钝化层的上方设有Pm-147放射性同位素源。本发明设计新颖合理,可以有效解决Pm-147在材料深处的电离能量沉积的收集问题,有效提高了同位素电池的输出功率、能量转换效率。
Public/Granted literature
- CN110556193B 一种Pm-147碳化硅缓变N区同位素电池及其制造方法 Public/Granted day:2021-04-13
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