Invention Grant
- Patent Title: 一种可复位MEMS双稳态触发器
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Application No.: CN201910814674.8Application Date: 2019-08-30
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Publication No.: CN110600289BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 张霞 , 张大成
- Applicant: 中国传媒大学 , 北京大学
- Applicant Address: 北京市朝阳区定福庄东街1号;
- Assignee: 中国传媒大学,北京大学
- Current Assignee: 中国传媒大学,北京大学
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区定福庄东街1号;
- Agency: 北京君尚知识产权代理有限公司
- Agent 余长江
- Main IPC: H01H1/00
- IPC: H01H1/00
Abstract:
本发明提出一种可复位MEMS双稳态触发器，属于MEMS制造领域，包括两个固定端、一个触发机构和一个双稳态机构，可实现原始状态和置位状态，以及可重新复位至原始状态。本发明可与集成电路制造工艺兼容，每触发一次就实现一次位置状态的闪动翻转，可用任意能产生位移推力的执行器驱动触发，可与触点结构配合实现物理开关功能。
Public/Granted literature
- CN110600289A 一种可复位MEMS双稳态触发器 Public/Granted day:2019-12-20
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