本发明实施例提供一种基于片上泵浦的铒硅酸盐波导放大器及其制备方法，该放大器包括在光路上依次设置的硅衬底、DBR底部反光镜、泵浦光源、增益介质层以及DBR顶部反光镜，DBR底部反光镜与DBR顶部反光镜构成DBR谐振腔；泵浦光源用于通过电致发光产生泵浦光，泵浦光与经过增益介质层的信号光的传输方向相交；DBR谐振腔用于对泵浦光进行谐振增强。本发明实施例提供的铒硅酸盐波导放大器及其制备方法，通过将铒硅酸盐增益介质层与Ⅲ‑Ⅴ族LED有源层进行集成，Ⅲ‑Ⅴ族半导体光源提高了电光转换效率，同时提高了增益材料的光吸收和泵浦效率，为硅光子系统引入可靠的光源器件，为光放大器提供了高速、大容量的光信号放大基础。