Invention Grant
CN110983251B 铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法
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Application No.: CN201911093987.5Application Date: 2019-11-11
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Publication No.: CN110983251BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 马胜利
- Applicant: 西安交通大学
- Applicant Address: 陕西省西安市咸宁西路28号
- Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市咸宁西路28号
- Agency: 西安恒泰知识产权代理事务所
- Agent 李婷; 赵中霞
- Main IPC: C23C14/06
- IPC: C23C14/06 ; C23C14/16 ; C23C14/35

Abstract:
本发明公开了一种铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法,包括如下步骤:1)将刀具预处理后放入电弧增强磁控溅射镀膜设备内;2)对刀具进行等离子体清洗;以柱弧Ti靶作为Ti源,通过柱弧Ti靶电流控制柱弧Ti靶的溅射率,制备Ti底层;保持柱弧Ti靶电流,采用高纯N2作为反应气体,制备TiN过渡层;保持柱弧Ti靶电流,调节N2流量,以平面C靶作为C源,通过调整中频脉冲电源的功率控制平面C靶的溅射率,在TiN过渡层上制备TiCN过渡层;将N2流量降为0,调节柱弧Ti靶电流以及平面C靶的电源功率,制备TiC+a‑C复合层,最终在刀具表面沉积形成Ti/TiN/TiCN/TiC+a‑C涂层。本发明制备的涂层可有效抑制铝屑粘刀,增加刀具耐磨性能,显著提高刀具寿命。
Public/Granted literature
- CN110983251A 铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法 Public/Granted day:2020-04-10
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