铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法
Abstract:
本发明公开了一种铝合金切削刀具用多元多层硬质涂层的制备方法,包括如下步骤:1)将刀具预处理后放入电弧增强磁控溅射镀膜设备内;2)对刀具进行等离子体清洗;以柱弧Ti靶作为Ti源,通过柱弧Ti靶电流控制柱弧Ti靶的溅射率,制备Ti底层;保持柱弧Ti靶电流,采用高纯N2作为反应气体,制备TiN过渡层;保持柱弧Ti靶电流,调节N2流量,以平面C靶作为C源,通过调整中频脉冲电源的功率控制平面C靶的溅射率,在TiN过渡层上制备TiCN过渡层;将N2流量降为0,调节柱弧Ti靶电流以及平面C靶的电源功率,制备TiC+a‑C复合层,最终在刀具表面沉积形成Ti/TiN/TiCN/TiC+a‑C涂层。本发明制备的涂层可有效抑制铝屑粘刀,增加刀具耐磨性能,显著提高刀具寿命。
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