Invention Grant
- Patent Title: 一种抗辐照粒子探测器
-
Application No.: CN202010692997.7Application Date: 2020-07-17
-
Publication No.: CN111769129BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 张亮 , 王萌 , 董家宁 , 王安庆 , 李龙
- Applicant: 山东大学
- Applicant Address: 山东省青岛市即墨滨海路72号
- Assignee: 山东大学
- Current Assignee: 山东大学
- Current Assignee Address: 山东省青岛市即墨滨海路72号
- Agency: 济南圣达知识产权代理有限公司
- Agent 赵敏玲
- Main IPC: H01L27/146
- IPC: H01L27/146

Abstract:
本发明公开了一种抗辐照粒子探测器,具备四阱工艺,分别是N阱、P阱、深N阱和深P隔离层,像素单元和读出电路均在深度掺杂的P型衬底上制作。其中,深N阱和P型衬底用来产生P‑N灵敏二极管,深N阱上的N阱和N型有源区(N+)构成通路,通过金属线连接其他读出电路。深P隔离层用来隔离深N阱内的器件,避免了PMOS晶体管与灵敏二极管之间的电荷竞争,在深P隔离层内可同时制作PMOS和NMOS管,能够实现复杂CMOS电路,这有助于在像素内实现复杂电路,对像素信号进行放大和降噪处理。N阱和P型有源区(P+)用于制作PMOS晶体管,P阱和N型有源区(N+)用于制作NMOS管。
Public/Granted literature
- CN111769129A 一种抗辐照粒子探测器 Public/Granted day:2020-10-13
Information query
IPC分类: