一种抗辐照粒子探测器
Abstract:
本发明公开了一种抗辐照粒子探测器,具备四阱工艺,分别是N阱、P阱、深N阱和深P隔离层,像素单元和读出电路均在深度掺杂的P型衬底上制作。其中,深N阱和P型衬底用来产生P‑N灵敏二极管,深N阱上的N阱和N型有源区(N+)构成通路,通过金属线连接其他读出电路。深P隔离层用来隔离深N阱内的器件,避免了PMOS晶体管与灵敏二极管之间的电荷竞争,在深P隔离层内可同时制作PMOS和NMOS管,能够实现复杂CMOS电路,这有助于在像素内实现复杂电路,对像素信号进行放大和降噪处理。N阱和P型有源区(P+)用于制作PMOS晶体管,P阱和N型有源区(N+)用于制作NMOS管。
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