Invention Grant
- Patent Title: 一种适用于小间距显示屏的LED外延生长方法
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Application No.: CN202010662767.6Application Date: 2020-07-10
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Publication No.: CN111769181BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 徐平 , 王杰 , 谢鹏杰 , 周佐华
- Applicant: 湘能华磊光电股份有限公司
- Applicant Address: 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- Assignee: 湘能华磊光电股份有限公司
- Current Assignee: 湘能华磊光电股份有限公司
- Current Assignee Address: 湖南省郴州市白露塘有色金属产业园
- Agency: 长沙七源专利代理事务所
- Agent 张勇; 刘伊旸
- Main IPC: H01L33/00
- IPC: H01L33/00 ; H01L33/06 ; H01L33/14 ; H01L33/32

Abstract:
本申请公开了一种适用于小间距显示屏的LED外延生长方法,依次包括:处理衬底、生长低温缓冲层GaN、生长不掺杂GaN层、生长掺杂Si的N型GaN层、生长多量子阱层、生长AlGaN电子阻挡层和生长掺杂Mg的P型GaN层,降温冷却,其中生长多量子阱层依次包括掺Mg预处理、生长InGaN盖层、生长InGaN阱层、生长H2气氛InGaN:Si层、生长N2气氛InGaN:Mg层、生长H2和N2混合气氛InGaN:Mg/Si层、生长InGaN保护层和生长GaN垒层的步骤。本发明方法解决现有LED外延生长中存在的LED发光波长蓝移量较大的问题,同时提高LED的发光效率,降低工作电压,增强抗静电能力。
Public/Granted literature
- CN111769181A 一种适用于小间距显示屏的LED外延生长方法 Public/Granted day:2020-10-13
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IPC分类: