电路芯片、三维存储器以及制备三维存储器的方法
Abstract:
本发明提供了一种电路芯片,包括:具有器件区域与间隔区域的衬底;形成于衬底上的晶体管电路,包括排布于器件区域上的多个晶体管单元;形成于衬底中的引出结构,位于晶体管单元之间的器件区域;形成于衬底上的接触结构,并接触引出结构;形成于衬底中的贯穿衬底连接线,位于器件区域,且与引出结构构成连接;形成于衬底中的背侧深沟槽隔离结构,位于间隔区域,用于电隔离相邻的晶体管单元,本发明提供的电路芯片通过在晶体管单元之间设置引出结构、接触结构、贯穿衬底连接线以及背侧深沟槽隔离结构,而使该电路芯片在其高压NMOS器件之间不会发生穿通、且其电性可以引出的前提下,其高压NMOS器件之间的间距能继续缩小,从而减小了电路芯片的尺寸。
Public/Granted literature
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件(其零部件入H01L23/00,H01L29/00至H01L51/00;由多个单个固态器件组成的组装件入H01L25/00)
H01L27/02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04 ..其衬底为半导体的
H01L27/10 ...在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105 ....包含场效应组件的
H01L27/112 .....只读存储器结构的
H01L27/115 ...... · · · · ·电动编程只读存储器;其多步骤制造方法
H01L27/11517 ....... · · · · · ·具有浮栅的
H01L27/11526 ........ · · · · · · ·以外围电路区为特征的
H01L27/11529 ......... · · · · · · · · 包含单元选择晶体管的存储区的,例如,NAND
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