Invention Grant
- Patent Title: 电路芯片、三维存储器以及制备三维存储器的方法
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Application No.: CN202010644096.0Application Date: 2020-07-07
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Publication No.: CN111785726BPublication Date: 2021-04-13
- Inventor: 陈亮
- Applicant: 长江存储科技有限责任公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
- Assignee: 长江存储科技有限责任公司
- Current Assignee: 长江存储科技有限责任公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
- Agency: 深圳紫藤知识产权代理有限公司
- Agent 李新干
- Main IPC: H01L27/11529
- IPC: H01L27/11529 ; H01L27/11551 ; H01L27/11573 ; H01L27/11578

Abstract:
本发明提供了一种电路芯片,包括:具有器件区域与间隔区域的衬底;形成于衬底上的晶体管电路,包括排布于器件区域上的多个晶体管单元;形成于衬底中的引出结构,位于晶体管单元之间的器件区域;形成于衬底上的接触结构,并接触引出结构;形成于衬底中的贯穿衬底连接线,位于器件区域,且与引出结构构成连接;形成于衬底中的背侧深沟槽隔离结构,位于间隔区域,用于电隔离相邻的晶体管单元,本发明提供的电路芯片通过在晶体管单元之间设置引出结构、接触结构、贯穿衬底连接线以及背侧深沟槽隔离结构,而使该电路芯片在其高压NMOS器件之间不会发生穿通、且其电性可以引出的前提下,其高压NMOS器件之间的间距能继续缩小,从而减小了电路芯片的尺寸。
Public/Granted literature
- CN111785726A 电路芯片、三维存储器以及制备三维存储器的方法 Public/Granted day:2020-10-16
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IPC分类: