一种基于螺旋相位板的球面曲率半径批量测量装置及方法
Abstract:
本发明属于测试计量技术领域,尤其是一种基于螺旋相位板的球面曲率半径批量测量装置及方法,包括上位机、电源模块、运动控制器、光学探头、测环、精密位移测量探头、电动平移台、支架,支架上具有纵向导轨和精密位移测量探头,电动平移台安装于纵向导轨上,光学探头固定于电动平移台外侧,精密位移测量探头位于电动平移台上方接触式测量电动平移台的高度,测环固定于光学探头上方,待测光学元件置于测环内。本发明通过引入螺旋相位制作了光学探头,调制光束使光斑与表面位置有关,批量测量时无需调节探头位置直接可进行非接触测量,与现有接触式测量仪器相比,本方法对表面损伤较小且批量测量时效率更高,有望在光学加工企业广泛应用。
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