一种表面晶粒定向生长的氮化硅陶瓷及其制备方法
Abstract:
本发明涉及一种表面晶粒定向生长的氮化硅陶瓷及其制备方法,所述表面晶粒定向生长的氮化硅陶瓷包括:主相为β‑Si3N4的氮化硅陶瓷基体、以及原位定向生长于氮化硅陶瓷基体表面的由长棒状β‑Si3N4晶粒形成的膜层,所述长棒状β‑Si3N4晶粒的直径为200nm~2μm,长度为2~5μm。
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