Invention Grant
- Patent Title: 隔膜清洁设备
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Application No.: CN201980079386.0Application Date: 2019-11-22
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Publication No.: CN113168088BPublication Date: 2024-11-19
- Inventor: A·尼基帕罗夫 , D·库日洛维奇 , F·斯布莱萨伊 , M·A·范德柯克霍夫 , T·W·范德伍德 , 威廉·琼·范德赞德 , J·范杜凡波第 , D·F·弗莱斯
- Applicant: ASML荷兰有限公司
- Applicant Address: 荷兰维德霍温
- Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee: ASML荷兰有限公司
- Current Assignee Address: 荷兰维德霍温
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 王益
- International Application: PCT/EP2019/082184 2019.11.22
- International Announcement: WO2020/109152 EN 2020.06.04
- Date entered country: 2021-05-27
- Main IPC: G03F1/62
- IPC: G03F1/62 ; G03F1/82
Abstract:
一种用于从隔膜移除粒子的隔膜清洁设备，包括：隔膜支撑件；以及电场生成机构。所述隔膜支撑件用于支撑所述隔膜。所述电场生成机构用于当所述隔膜由所述隔膜支撑件支撑时在所述隔膜附近生成电场。所述电场生成机构可以包括：一个或更多个集电极；和用于跨越由所述隔膜支撑件支撑的所述隔膜和所述一个或更多个集电极中的一个或每个集电极施加电压的机构。
Public/Granted literature
- CN113168088A 隔膜清洁设备 Public/Granted day:2021-07-23
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