超导磁体组件、平面马达和光刻设备

    公开(公告)号:CN119422312A

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202380049493.5

    申请日:2023-07-26

    Abstract: 本发明提供一种用于平面马达的超导(SC)磁体组件,所述超导磁体组件包括:‑超导线圈的二维(2D)阵列,所述超导线圈的二维阵列被配置成产生二维的空间交变磁场;‑屏蔽件,所述屏蔽件被布置在超导线圈的所述二维阵列的在使用期间面向所述平面马达的动子的一侧上,所述屏蔽件被配置成减缓由超导线圈的所述二维阵列所经历的磁场变化;其中,所述屏蔽件包括导电材料层,所述层横跨大致覆盖超导线圈的所述二维阵列的区域,所述导电材料层具有横跨所述区域的厚度变化,横跨所述区域的所述厚度变化与超导线圈的所述二维阵列的几何参数相关联。

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