本发明提供一种分布式GEO SAR三维形变反演多角度选取方法及装置，所述方法包括获取分布式GEO SAR系统对观测目标全部照射的空间范围内的速度、坐标、场景坐标，得到三维形变模型系数矩阵；通过各观测角度下的干涉图相位方差获得相位误差的协方差矩阵；根据所述三维形变模型系数矩阵和所述相位误差的协方差矩阵，计算所述分布式GEO SAR系统对观测目标在全部照射时间段内的测量精度系数最小定位精度系数；基于所述分布式GEO SAR系统对观测目标在全部照射时间段内的测量精度系数最小定位精度系数,进行最优组合选择。根据本发明的方案，可有效提高地表三维形变反演精度。