一种大尺寸纳米压印用镍模板的制备方法
Abstract:
本申请涉及纳米压印技术领域,尤其涉及一种大尺寸纳米压印用镍模板的制备方法。本申请包括:制备多块拼接式塑料单元,拼接式塑料单元的第一面设有预置图案;将多块拼接式塑料单元拼接形成整体塑料片,然后在整体塑料片的预置图案面上设有保护膜,再将整体塑料片贴合在预先涂有紫外固化胶的载体上,得第一样品;在气压环境下,对第一样品加热处理,对热处理后的样品照射紫外光,待紫外固化胶固化后,剥除保护膜,得第二样品;在第二样品表面设种子层,然后在种子层上电镀镍层,得第三样品;从第三样品上剥除整体塑料片和载体,制得纳米压印镍模板。本申请,可快速、精准、低成本制备大面积的,均匀性一致,不存在拼接缝隙的纳米压印镍模板。
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