Invention Publication
- Patent Title: 基板支撑装置
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Application No.: CN202111620718.7Application Date: 2021-12-28
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Publication No.: CN114267627APublication Date: 2022-04-01
- Inventor: 肖文欢
- Applicant: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- Assignee: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- Agency: 深圳紫藤知识产权代理有限公司
- Agent 李莎
- Main IPC: H01L21/687
- IPC: H01L21/687

Abstract:
本申请实施例公开了一种基板支撑装置,包括基座、支撑杆、驱动板、推拉杆、驱动件,基座包括基座本体以及位于所述基座本体的两相对端的底板,所述基座本体的端部与所述底板滑动连接,支撑杆的第一端与基座本体固定连接,支撑杆的第二端固定连接有支撑针,支撑针用于支撑基板,驱动板设于基座本体上且与基座本体联动连接,推拉杆设于驱动板一侧且与驱动板固定连接,驱动件驱动推拉杆沿第一方向运动,推拉杆沿第一方向运动时,同步带动驱动板沿第一方向运动,基座本体和支撑杆沿与第一方向相交的第二方向运动。通过上述部件之间的联动设计,只需驱动推拉杆在第一方向运动,即可实现支撑针与基板接触位置的改变,且无需开腔作业和设备改造。
Public/Granted literature
- CN114267627B 基板支撑装置 Public/Granted day:2025-04-25
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IPC分类: