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基板支撑装置
Abstract:
本申请实施例公开了一种基板支撑装置,包括基座、支撑杆、驱动板、推拉杆、驱动件,基座包括基座本体以及位于所述基座本体的两相对端的底板,所述基座本体的端部与所述底板滑动连接,支撑杆的第一端与基座本体固定连接,支撑杆的第二端固定连接有支撑针,支撑针用于支撑基板,驱动板设于基座本体上且与基座本体联动连接,推拉杆设于驱动板一侧且与驱动板固定连接,驱动件驱动推拉杆沿第一方向运动,推拉杆沿第一方向运动时,同步带动驱动板沿第一方向运动,基座本体和支撑杆沿与第一方向相交的第二方向运动。通过上述部件之间的联动设计,只需驱动推拉杆在第一方向运动,即可实现支撑针与基板接触位置的改变,且无需开腔作业和设备改造。
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