描述了使用变压器以在衬底处理中实现均匀性的系统和方法。所述系统中的一种包括具有第一端部和第二端部的初级绕组。所述第一端部被耦合至阻抗匹配电路的输出端，而所述第二端部被耦合至电容器。所述系统还包括与所述初级绕组相关联的次级绕组，且所述次级绕组被耦合至等离子体室的变压器耦合等离子体(TCP)线圈的第一端部和第二端部。所述初级绕组从所述阻抗匹配电路接收经修正的射频(RF)信号以产生磁通量，从而在所述次级绕组中感应电压。由所述电压所产生的RF信号被从所述次级绕组传送至所述TCP线圈。