Invention Grant
- Patent Title: 一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统
-
Application No.: CN202210566037.5Application Date: 2022-05-20
-
Publication No.: CN114965152BPublication Date: 2024-12-03
- Inventor: 王旭迪 , 党伟 , 林文豫 , 毕海林 , 曹青 , 吴俊 , 张俊
- Applicant: 合肥工业大学
- Applicant Address: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- Assignee: 合肥工业大学
- Current Assignee: 合肥工业大学
- Current Assignee Address: 安徽省合肥市包河区屯溪路193号
- Agency: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司
- Agent 何梅生
- Main IPC: G01N7/04
- IPC: G01N7/04

Abstract:
本发明介绍了一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统,在进气室和吸气室之间安装纳流控固定流导元件,结合微调针阀,提供可控精确的进气流量,在测试过程中维持吸气室压力恒定。使用的纳流控固定流导元件为玻璃‑硅分子流漏孔或者石墨烯分子流漏孔。通过测量记录进气室内部压力变化,获得瞬时抽速、吸气量、最大吸气量和扩散活化能等NEG吸气性能参数。本发明装置可以用于测试不同吸气压力、工作温度、吸气材料以及吸气能力的NEG吸气性能,也可以用于测试蒸散型吸气剂的吸气性能。
Public/Granted literature
- CN114965152A 一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统 Public/Granted day:2022-08-30
Information query