一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件
Abstract:
本发明公开了一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件,包括DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列和砷化镓衬底,DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列分别置于砷化镓衬底上,利用晶圆键合技术将DFB激光器键合到砷化镓衬底上,确保DFB激光器的输出光高度与铌酸锂光波导匹配;每个铌酸锂光波导都有一个DFB激光器进行泵浦。本发明通过晶圆键合和离子注入技术实现在砷化镓衬底上集成多个DFB激光器和多个铌酸锂光波导,该光子器件通过稀土离子的能级跃迁输出不同波段的激光,实现多种波长的混合输出和多模动态的防伪效果。同时,该光子器件结构紧凑,集成度高,能够实现高效的光子器件集成。
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