用于在处理线间距尺寸为50nm或更低的图案化材料时避免图案坍塌的包含硅氧烷和烷烃的组合物
Abstract:
本发明涉及一种非水性组合物,其基本上由如下组分组成:(a)有机溶剂,其选自:(i)直链、支化或环状C5‑C12烷烃,和(ii)被1‑3个C1‑C4烷基取代的苯;和(b)至少一种式I或II的添加剂,其中:R1为H,R2选自H、C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基,R3选自R2,R4选自C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基,R10、R12独立地选自C1‑C10烷基和C1‑C10烷氧基,m为1、2或3,n为0或1‑100的整数。
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