Invention Publication
- Patent Title: 用于在处理线间距尺寸为50nm或更低的图案化材料时避免图案坍塌的包含硅氧烷和烷烃的组合物
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Application No.: CN202180042214.3Application Date: 2021-06-29
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Publication No.: CN115943199APublication Date: 2023-04-07
- Inventor: 高齐岳 , 沈美卿 , A·克里普 , H·O·格文茨 , D·勒夫勒
- Applicant: 巴斯夫欧洲公司
- Applicant Address: 德国莱茵河畔路德维希港
- Assignee: 巴斯夫欧洲公司
- Current Assignee: 巴斯夫欧洲公司
- Current Assignee Address: 德国莱茵河畔路德维希港
- Agency: 北京市中咨律师事务所
- Agent 肖威; 刘金辉
- Priority: 20185047.6 20200709 EP
- International Application: PCT/EP2021/067916 2021.06.29
- International Announcement: WO2022/008306 EN 2022.01.13
- Date entered country: 2022-12-12
- Main IPC: C11D11/00
- IPC: C11D11/00 ; G03F7/40 ; H01L21/02

Abstract:
本发明涉及一种非水性组合物,其基本上由如下组分组成:(a)有机溶剂,其选自:(i)直链、支化或环状C5‑C12烷烃,和(ii)被1‑3个C1‑C4烷基取代的苯;和(b)至少一种式I或II的添加剂,其中:R1为H,R2选自H、C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基,R3选自R2,R4选自C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基,R10、R12独立地选自C1‑C10烷基和C1‑C10烷氧基,m为1、2或3,n为0或1‑100的整数。
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