Invention Grant
CN1171275C 利用电子束作“结构化”的能量传输方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 利用电子束作“结构化”的能量传输方法
- Patent Title (English): Method for structured energy transmission using electron beams
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Application No.: CN97180399.4Application Date: 1997-10-08
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Publication No.: CN1171275CPublication Date: 2004-10-13
- Inventor: S·潘萨尔 , J·丹哈特
- Applicant: F·O·B·有限公司(制造彩色光电构成元件公司)
- Applicant Address: 联邦德国古伯
- Assignee: F·O·B·有限公司(制造彩色光电构成元件公司)
- Current Assignee: F·O·B·有限公司(制造彩色光电构成元件公司)
- Current Assignee Address: 联邦德国古伯
- Agency: 上海专利商标事务所
- Agent 张政权
- Priority: 19642116.0 1996.10.12 DE
- International Application: PCT/DE1997/002303 1997.10.08
- International Announcement: WO1998/016947 DE 1998.04.23
- Date entered country: 1999-06-07
- Main IPC: H01J37/30
- IPC: H01J37/30 ; H01J37/147 ; H01J37/317
Abstract:
本发明是一种利用电子束作“结构化”的能量传输方法，已知有多种方法利用电子束处理材料或改变其性质。迄今无法将微小的表面区域图元在该表面上进行某种排列以达成某些效果。根据本发明，所要加工的物体在一光罩下运动，二者不相接触，可作二维空间偏转的电子束(它以高频率垂直于物体运动方向振动)在光罩上运动，其速度比物体运动速度快得多。此方法可用于加工任何材料，特别是平坦或具有一定形状的物体，以利用物理或化学反应达到加工效果。
Public/Granted literature
- CN1240051A 利用电子束的“结构化”能量传输方法 Public/Granted day:1999-12-29
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