一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构
Abstract:
本发明涉及石墨化炉技术领域,尤其是一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构,包括石墨化炉,所述石墨化炉一侧设置有楼梯,且所述石墨化炉顶端一侧设置有电控转动支架,且所述电控转动支架呈倒L型设置,所述电控转动支架顶端固定安装有进料驱动机构,所述进料驱动机构设置于起吊连接机构上方,且所述进料驱动机构与起吊连接机构通过绳索连接,且所述起吊连接机构底端挂接有盛料架,所述起吊连接机构圆周侧壁上设置有横杆,本发明在进料时,通过稳定限位机构的设置,能够提高盛料架进料时的稳定性和进料位置的准确性,同时在完成进料后,其起吊连接机构能够进行自动解锁,省去了人工操作的麻烦。
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