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公开(公告)号：CN117346541A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311642082.5
申请日：2023-12-04
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
IPC: F27D3/00
Abstract: 本发明涉及石墨化炉技术领域，尤其是一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构，包括石墨化炉，所述石墨化炉一侧设置有楼梯，且所述石墨化炉顶端一侧设置有电控转动支架，且所述电控转动支架呈倒L型设置，所述电控转动支架顶端固定安装有进料驱动机构，所述进料驱动机构设置于起吊连接机构上方，且所述进料驱动机构与起吊连接机构通过绳索连接，且所述起吊连接机构底端挂接有盛料架，所述起吊连接机构圆周侧壁上设置有横杆，本发明在进料时，通过稳定限位机构的设置，能够提高盛料架进料时的稳定性和进料位置的准确性，同时在完成进料后，其起吊连接机构能够进行自动解锁，省去了人工操作的麻烦。
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公开(公告)号：CN117250468A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311534129.6
申请日：2023-11-17
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
Abstract: 本发明涉及半导体检验技术领域，具体为一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有多个对称设置的支撑杆，且支撑杆的上端固定连接有加热罩。该种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，能够对加热后的热量进行回收再利用，不仅使得加热的效率更高，而且能够避免热量的浪费，更加节能环保，在检测前，能够将防护板自动转动打开，同时，对等静压石墨板的表面进行自动吹气清理，在检测完成后，能够将防护板自动转动关闭，同时，能够对等静压石墨板的表面进行再次吹气清理，从而能够避免其表面附着杂质和损伤，保证检测效果。
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公开(公告)号：CN116892831B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311158962.5
申请日：2023-09-08
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，属于半导体大硅片制造领域。本发明的一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，包括装置底座，所述装置底座的一端设置有后固定板；所述装置底座上端的另一侧设置有第一前挡板，所述第一前挡板和第二前挡板之间卡槽连接，所述第二前挡板外部的一侧与装置底座的上端通过第一转动连接轴转动连接。本发明解决了现有焙烧炉不能高效的对大批量材料进行加工的问题，本发明由上材料收集框、第一下材料收集框和第二下材料收集框同时对材料进行堆积并存放材料，避免大量材料同时堆积，便于使用者的使用。
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公开(公告)号：CN116837467A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202311103402.X
申请日：2023-08-30
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种三代半导体用带碳化硅涂层的石墨坩埚，属于石墨坩埚技术领域，包括固定底板，所述固定底板上固定设置有安装环，所述安装环上固定设置有两个对称设置的支架，且两个所述支架上均固定设置有支撑台，两个所述支撑台上均转动设置有转轴，其中一个所述支架上固定设置有载物板，启动电机带动轴体转动时，摆动器上的摆动杆能够坩埚内壳中的物料进行摆动放平，并且当物料与坩埚内壳发生卡死时，摆动杆无法推动物料运作，使得摆动杆无法转动，此时扭力弹簧的扭力不断增加，到增加到一定程度时摆动杆压缩挤压弹簧，将限位杆从控制器内部拔出，使得框架与控制器之间转动打滑，避免对坩埚内壁造成损伤的情况出现。
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公开(公告)号：CN117711998B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410162575.7
申请日：2024-02-05
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
IPC: H01L21/673
Abstract: 本发明涉及石墨舟技术领域，具体是涉及一种三代半导体用等静压石墨舟，包括若干个一号石墨片和二号石墨片，还包括承托台、水平滑动机构、限位件、等距调节机构和若干组连接件，水平滑动机构包括若干对石墨片载具，每个石墨片载具上均设有若干个控距块，每组连接件均包括若干个陶瓷控距件，本装置通过水平滑动机构中的石墨片载具来实现一号石墨片和二号石墨片的自由滑动，且通过限位件限制若干对石墨片载具的最终位移行程，并以此使初始状态下相邻的一号石墨片和二号石墨片的间距相同且为最小值，以此便于后续对若干个一号石墨片和二号石墨片进行统一的等距调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117588950B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410072337.7
申请日：2024-01-18
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
Abstract: 本发明涉及焙烧炉技术领域，具体公开了三代半导体制备加压焙烧炉，包括：炉体及其内部的可变承载架；所述可变承载架包括多个相互链接的承载节点，多个所述承载节点可形成三种状态并相互转化；其中，在第一种状态下，多个所述承载节点可形成左右等高的U型吊篮状态，在第二种状态下，将左右等高的U型吊篮状态转为具有高低落差的U型吊篮状态，在第三种状态下，部分相连所述承载节点形成水平状态的输送状态；可控制多个承载节点在三种状态间切换的控制器；用于检测坯体是否过度膨胀或收缩的监视器，本发明能够使坯体的各个部位均能够暴露在炉膛内，提高加热均匀性和避免气孔发生堵塞，提高坯体的焙烧质量。
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公开(公告)号：CN117346541B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311642082.5
申请日：2023-12-04
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
IPC: F27D3/00
Abstract: 本发明涉及石墨化炉技术领域，尤其是一种半导体大硅片制造用等静压石墨的石墨化炉进料机构，包括石墨化炉，所述石墨化炉一侧设置有楼梯，且所述石墨化炉顶端一侧设置有电控转动支架，且所述电控转动支架呈倒L型设置，所述电控转动支架顶端固定安装有进料驱动机构，所述进料驱动机构设置于起吊连接机构上方，且所述进料驱动机构与起吊连接机构通过绳索连接，且所述起吊连接机构底端挂接有盛料架，所述起吊连接机构圆周侧壁上设置有横杆，本发明在进料时，通过稳定限位机构的设置，能够提高盛料架进料时的稳定性和进料位置的准确性，同时在完成进料后，其起吊连接机构能够进行自动解锁，省去了人工操作的麻烦。
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公开(公告)号：CN117250468B
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311534129.6
申请日：2023-11-17
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
Abstract: 本发明涉及半导体检验技术领域，具体为一种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有多个对称设置的支撑杆，且支撑杆的上端固定连接有加热罩。该种三代半导体用等静压石墨衬底检验台，能够对加热后的热量进行回收再利用，不仅使得加热的效率更高，而且能够避免热量的浪费，更加节能环保，在检测前，能够将防护板自动转动打开，同时，对等静压石墨板的表面进行自动吹气清理，在检测完成后，能够将防护板自动转动关闭，同时，能够对等静压石墨板的表面进行再次吹气清理，从而能够避免其表面附着杂质和损
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公开(公告)号：CN116837467B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311103402.X
申请日：2023-08-30
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种三代半导体用带碳化硅涂层的石墨坩埚，属于石墨坩埚技术领域，包括固定底板，所述固定底板上固定设置有安装环，所述安装环上固定设置有两个对称设置的支架，且两个所述支架上均固定设置有支撑台，两个所述支撑台上均转动设置有转轴，其中一个所述支架上固定设置有载物板，启动电机带动轴体转动时，摆动器上的摆动杆能够坩埚内壳中的物料进行摆动放平，并且当物料与坩埚内壳发生卡死时，摆动杆无法推动物料运作，使得摆动杆无法转动，此时扭力弹簧的扭力不断增加，到增加到一定程度时摆动杆压缩挤压弹簧，将限位杆从控制器内部拔出，使得框架与控制器之间转动打滑，避免对坩埚内壁造成损伤的情况出现。
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公开(公告)号：CN116732501B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310999096.6
申请日：2023-08-09
Applicant: 福建福碳新材料科技有限公司
IPC: C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/34 , B08B1/00
Abstract: 本发明公开了一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚，涉及石墨舟技术领域，包括舟体、舟脚、电极块、支撑柱、浮动套、空心套；多个水平穿设于空心套上的刮板，刮板在空心套上能自由滑动；用于在空心套朝上移动时，能够驱动多个刮板沿空心套径向运动的驱动部；用于在空心套朝上移动时，驱动刮板绕支撑柱轴向旋转的旋转部。当舟体放置于管式PECVD设备内时，随着舟体的下放，空心套将相对舟脚朝上移动，将由旋转部驱动多个刮板绕支撑柱的轴向旋转，使得多个刮板能够旋转并对管式PECVD设备的电极座表面进行清理，进而将电极座表面氮化硅粉末及碎片刮出且远离舟脚，使得能够避免氮化硅粉末或碎片与舟脚接触，进而造成舟脚与电极座接触不良的现象。
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