硅-锆钛酸铅异质光电融合单片集成系统
Abstract:
本发明提供了一种硅‑锆钛酸铅异质光电融合单片集成系统,涉及光电集成技术领域,包括:硅‑锆钛酸铅晶圆和光电集成系统链路,硅‑锆钛酸铅晶圆包括的硅衬底、二氧化硅埋氧层、硅薄膜层和二氧化硅包埋层从下至上依次生长,锆钛酸铅薄膜层平行于硅薄膜层并内设于二氧化硅包埋层中部;光电集成系统链路包括第一光路器件、第二光路器件和电路器件,第一光路器件和电路器件设于硅薄膜层上,第二光路器件设于锆钛酸铅薄膜层上;第一光路器件与第二光路器件进行光信号传输,电路器件与第一光路器件、第二光路器件进行电信号传输。本发明能够解决现有纯硅CMOS兼容光电集成系统传输带宽受限的问题。
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