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芯片及其制备方法
Abstract:
本发明涉及半导体封装技技术领域,提供了一种芯片及其制备方法,其中,芯片包括基板、多个绝缘层以及多个再布线层;多个绝缘层敷设在基板上,多个绝缘层依次叠设,每个绝缘层上设有多个凹槽、多个限位腔体和多个微铜柱;多个凹槽设于绝缘层远离基板的一侧;每个限位腔体位于凹槽靠近基板的一侧,且与凹槽连通;多个微铜柱与多个凹槽一一对应设置,每个微铜柱填充在对应的凹槽和对应的限位腔体内;多个再布线层与多个绝缘层一一对应设置,每个再布线层设于绝缘层远离基板的一侧,且与凹槽上的多个微铜柱连接,限位腔体对微铜柱起到了进一步限位的作用,加固了微铜柱,微铜柱又与再布线层连接,提高了再布线层与绝缘层之间的连接强度。
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