本发明涉及晶圆加工处理技术领域，公开了一种晶圆清洗甩干治具，通过在转动板安装三个支撑框架，并在每一个支撑框架均堆叠设置多个晶圆安装机构的设计，且每一个安装机构上均可放置多片晶圆，实现一次同时对较多的晶圆进行甩干操作，在很大程度上提高了晶圆甩干处理的效率；通过下压定位组件配合支撑组件的设计，晶圆的侧边卡合在支撑组件中支撑板的缺槽内，盖上上网框时，晶圆的顶部卡进压板底部的凹槽内，实现对晶圆的高效定位，避免晶圆在甩干过程中晃动，并与治具发生磕碰，降低了晶圆损坏的风险；通过内齿环与外齿环的啮合设计，在驱动多个晶圆治具公转的同时，可实现晶圆治具的自转，且公转与自转的方向相反，提高了晶圆的甩干效果。