一种晶圆横向抓取移动机构
Abstract:
本发明公开了一种晶圆横向抓取移动机构,涉及晶圆生产技术领域。该种晶圆横向抓取移动机构,包括旋涂箱和烘干箱,所述旋涂箱内设置有旋涂工作台和滴胶头,所述旋涂箱的顶部开设有进料口,且旋涂箱内通过升降机构连接有托盘,所述托盘上设置有晶圆盒,所述旋涂箱的底部固定连接有两个对称设置的气缸。该种晶圆横向抓取移动机构,能够对承载盘进行横向移动以及自动转动,从而实现对晶圆本体的横向抓取移动,使得对晶圆本体的移动更加方便快捷、效率更高;在对晶圆本体进行横向抓取移动的过程中,能够对其进行自动居中调节,保证后续旋涂的质量;在对晶圆本体移动的过程中,能够利用防护盖将承载盘罩起防护,能够避免气流的影响,保证旋涂的质量。
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