本申请公开了一种镓和锆共掺杂氧化锌靶材的制备方法，涉及靶材技术领域，所述制备方法，包括如下步骤：S1：将氧化锆、氧化镓、水、分散剂混合均匀，研磨，得到浆料一；S2：将氧化锌、水、分散剂混合均匀后，加入浆料一，混合均匀，再加入粘结剂和增塑剂，混合均匀，研磨，得到浆料二；S3：对浆料二喷雾干燥造粒后，过筛，得到粒状粉料；S4：对粒状粉料液压、冷等静压成型，得到素胚；S5：对素胚进行烧结，冷却后，得到镓锆共掺杂氧化锌靶材。本申请制得的镓和锆共掺杂的氧化锌靶材具有较高的相对密度、较低的电阻率；磁控溅射后，获得的薄膜具有较好的电学性能。