含有氧化钇涂层的一体化碳/碳复合材料坩埚
Abstract:
本发明涉及一种含有氧化钇涂层的一体化碳/碳复合材料坩埚,属于单晶硅用热场部件技术领域。所述坩埚包括碳/碳复合材料坩埚本体、玻璃炭涂层以及氧化钇涂层,玻璃炭涂层能有效缓解氧化钇涂层与碳/碳复合材料坩埚本体之间的热失配,还能有效阻止碳/碳复合材料坩埚本体中碳的逸出;氧化钇涂层在熔融硅过程中不引入杂质,能够有效保证硅料的纯度,而且具有优异的抗硅侵蚀性能以及高温稳定性;碳/碳复合材料坩埚本体是由喷淋树脂的纯网胎针刺铺层制成的碳纤维预制体经过致密形成的,其内表面为整体呈近各向同性的网胎,既能保证坩埚整体力学强度,又能确保与后续功能性涂层的良好结合效果,进而能够提高坩埚的使用寿命。
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