一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统及方法
Abstract:
本发明公开了一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统及方法,包括照明单元、差动共焦定位单元、白光干涉数据采集单元和电动位移控制单元,通过将被测样品所需观察的目标区域置于相机的视场内;对被测样品进行粗定位和扫描获取第一个绝对零点位置作为上表面以及第二个绝对零点位置作为下表面,并对应记录光强值;驱动电动角位台完成倾斜定位;确定干涉条纹图片的干涉区域长度,根据第一个绝对零点位置、第二个绝对零点位置和干涉区域长度令压电陶瓷沿z轴移动进行变速扫描,并通过倾斜定位后的相机实时采集干涉条纹图片;筛选出具有干涉条纹的干涉条纹图片完成扫描区间定位以用于进行三维重建,有助于提高被测样品的测量精度和效率。
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