Invention Publication
- Patent Title: 一种微波消解制备氮化硅瓷片电镜测试样品的方法
-
Application No.: CN202510122408.4Application Date: 2025-01-26
-
Publication No.: CN119935696APublication Date: 2025-05-06
- Inventor: 葛荘 , 王斌 , 沈嘉伟 , 余祖森 , 丁颖颖 , 张海侠
- Applicant: 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 , 江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
- Applicant Address: 江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号;
- Assignee: 江苏富乐华半导体科技股份有限公司,江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
- Current Assignee: 江苏富乐华半导体科技股份有限公司,江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号;
- Agency: 北京华际知识产权代理有限公司
- Agent 张强
- Main IPC: G01N1/32
- IPC: G01N1/32 ; G01N1/40 ; G01N1/34 ; G01N1/44
Abstract:
本发明公开了一种微波消解制备氮化硅瓷片电镜测试样品的方法，涉及电镜测试技术领域，包括以下操作步骤：S1：将氮化硅瓷片加入到稀硫酸溶液中，得到预制氮化硅瓷片；S2：将预制氮化硅瓷片进行微波消解后取出，用纯水清洗后烘干，得到氮化硅瓷片电镜测试样品；S3：将氮化硅瓷片电镜测试样品喷金后，用电镜观察晶粒生长情况。
Information query
