Invention Grant
CN1207450C 一种用于发蓝光器件的晶体薄膜的制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 一种用于发蓝光器件的晶体薄膜的制备方法
- Patent Title (English): Process for preparing crystal film for components to emit blue light
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Application No.: CN03116011.5Application Date: 2003-03-25
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Publication No.: CN1207450CPublication Date: 2005-06-22
- Inventor: 叶志镇 , 马德伟 , 黄靖云 , 赵炳辉
- Applicant: 浙江大学
- Applicant Address: 浙江省杭州市西湖区玉古路20号
- Assignee: 浙江大学
- Current Assignee: 浙江大学
- Current Assignee Address: 浙江省杭州市西湖区玉古路20号
- Agency: 杭州求是专利事务所有限公司
- Agent 韩介梅
- Main IPC: C30B25/06
- IPC: C30B25/06 ; C23C14/08 ; C23C14/35 ; H01L33/00
Abstract:
本发明公开了用于发蓝光器件的Zn1-xCdxO晶体薄膜(薄膜中Cd的含量为0＜x＜0.5)的制备方法，采用直流反应磁控溅射法，根据实际需要通过调节Cd的含量，可以调节Zn1-xCdxO合金薄膜禁带宽度和发光波长，发光范围从紫外光扩展到蓝光甚至绿光范围。生长的时间由所需的厚度决定。采用本发明方法生长的Zn1-xCdxO合金薄膜结晶质量良好，具有完全(002)择优取向性；并具有较好的重复性和稳定性。
Public/Granted literature
- CN1439748A 一种用于发蓝光器件的晶体薄膜及其制备方法 Public/Granted day:2003-09-03
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IPC分类:
