Invention Application
WO2016117796A2 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 방법 审中-公开
光学频率和强度调制激光吸收光谱仪器,光学频率和强度调制激光吸收光谱法

  • Patent Title: 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 방법
  • Patent Title (English): Optical frequency and intensity modulation laser absorption spectroscopy apparatus, and optical frequency and intensity modulation laser absorption spectroscopy method
  • Patent Title (中): 光学频率和强度调制激光吸收光谱仪器,光学频率和强度调制激光吸收光谱法
  • Application No.: PCT/KR2015/010538
    Application Date: 2015-10-06
  • Publication No.: WO2016117796A2
    Publication Date: 2016-07-28
  • Inventor: 이재용김재완박정재우제흔
  • Applicant: 한국표준과학연구원
  • Applicant Address: 305-340 대전시 유성구 가정로 267, Daejeon KR
  • Assignee: 한국표준과학연구원
  • Current Assignee: 한국표준과학연구원
  • Current Assignee Address: 305-340 대전시 유성구 가정로 267, Daejeon KR
  • Agency: 특허법인 누리
  • Priority: KR10-2015-0008870 20150119
광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 방법
Abstract:
본 발명은 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치 및 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 방법를 제공한다. 이 광주파수 및 강도 변조 레이저 흡수 분광 장치는 가시광선 대역의 시야 빔을 출력하는 전시야 광원; 레이저 빔의 광주파수를 변조 주파수(f m )로 주파수 변조하고, 상기 레이저 빔의 강도를 변조 주파수(f m )로 강도 변조하여 프로브 빔을 출력하고, 상기 프로브 빔을 제공받은 측정 대상이 공명 흡수에 의하여 생성하는 레이저 흡수 신호를 전기 신호로 변환하고, 변환된 레이저 흡수 신호로부터 상기 변조 주파수(f m )의 제1 고조파 성분 및 제2 고주파 성분을 추출하는 주파수 및 강도 변조 분광 처리부; 상기 시야 빔 및 상기 프로브 빔을 대물 렌즈에 제공하는 빔 처리부; 상기 시야 빔을 상기 측정 대상에 전시야 광으로 제공하고, 상기 프로브 빔을 그 초점에 집속하여 상기 측정 대상의 측정 위치에 제공하는 대물렌즈를 포함한다.
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