公开(公告)号：EP0332211B1

公开(公告)日：1995-06-07

申请号：EP89104303.6

申请日：1989-03-10

Applicant: Becker-Ross, Helmut, Dr. ,  Engel, Klaus-Eberhard, Dipl. Phys. ,  Engel, Susanne ,  Florek, Stefan, Dr. ,  Matzke, Wolf Ekkehard, Dipl. Ing. ,  Tischendorf, Reinhard, Dipl. Ing.

Inventor： Becker-Ross, Helmut, Dr., Dipl.-Phys. ,  Florek, Stefan, Dr., Dipl.-Phys. ,  Tischendorf, Reinhard, Dipl.-Ing. ,  Engel, Klaus-Eberhard, Dipl.-Phys. ,  Matzke, Wolf-Ekkehard, Dipl.-Ing. ,  Engel, Susanne

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/36

CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/2803

公开(公告)号：EP0332211A2

公开(公告)日：1989-09-13

申请号：EP89104303.6

申请日：1989-03-10

Applicant: Becker-Ross, Helmut, Dr. ,  Engel, Klaus-Eberhard, Dipl. Phys. ,  Engel, Susanne ,  Florek, Stefan, Dr. ,  Matzke, Wolf Ekkehard, Dipl. Ing. ,  Tischendorf, Reinhard, Dipl. Ing.

Inventor： Becker-Ross, Helmut, Dr., Dipl.-Phys. ,  Florek, Stefan, Dr., Dipl.-Phys. ,  Tischendorf, Reinhard, Dipl.-Ing. ,  Engel, Klaus-Eberhard, Dipl.-Phys. ,  Matzke, Wolf-Ekkehard, Dipl.-Ing. ,  Engel, Susanne

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/36

CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/2803

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Untersuchung hoch­aufgelöster Teilspektren eines Echelle-Spektrums und ist anwendbar zur gleichzeitigen Bestimmung der Intensität verschiedener Spektralelemente eines Strahlungsspektrums, das durch ein Echelle-Spektrometer erzeugt wird.
Die Anordnung besteht aus einem ortsauflösenden photoelek­trischen Detektor mit mehreren auf einem IC-Chip (0) an­geordneten Photosensoren, wobei die Photosensoren auf der Chipfläche an den Orten vorausgewählter Spektrallinien diskret angeordnet sind und jeder Photosensoren aus einer CCD-Sensorzeile (4; 5; 6) und einer Logikschaltung besteht, die in Abhängigkeit von Aktivierungspegeln das Schalten von Versorgungspotentialen und Taktsignalen sowie die Übergabe von Ausgangssignalen auf eine gemeinsame Ausgangssignalleitung ermöglicht. Die einzelnen Sensor­elemente der CCD-Sensorzeilen sind bezüglich ihrer Flächen an die Spektralelemente des Echelle-Spektrums angepaßt und verlaufen nacheinander in Richtung der Dispersion des Echelle-Gitters. Die Gesamtzahl der Sensorelemente aller CCD-Sensorzeilen (4; 5; 6) auf dem Chip ist vorzugsweise geringer als die Anzahl der Spektralelemente im Echelle-­Spektrum. Eine digitale Logikschaltung erlaubt mittels der von ihr verwalteten Aktivierungspegel die serielle Auslesung der Signale einer wählbaren Teilmenge aus allen CCD-Sensorzeilen (4; 5; 6) in wählbarer Reihen­folge über die gemeinsame Ausgangssignalleitung in Ab­hängigkeit von äußeren Steuersignalen.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检查中阶梯光谱的高分辨率局部光谱的布置中，并且适用于不同的光谱元件，其是由阶梯光栅光谱仪中产生的辐射光谱的强度的同时测定。 该装置包括具有（0）设置光传感器IC芯片上的多个空间分辨光电检测器中，所述的预选的光谱线的位置在芯片表面上的光传感器被离散地配置和CCD传感器线的每个光传感器（4; 5; 6） 和逻辑电路由使电源电位和时钟信号的切换和输出信号的上激活水平的传送到一个共同的输出信号线中的依赖。 CCD传感器线的各个传感器元件相对于匹配到它们的表面到阶梯频谱的频谱单元和在阶梯光栅的分散体的方向连续地延伸。 所有的CCD传感器的行的传感器元件的总数量（4; 5; 6）在芯片上优选比在阶梯频谱的频谱单元的数量少。 可以通过激活水平的管理手段允许的数字逻辑电路，可选择的部分量的来自所有CCD传感器线的信号的串行读出（4; 5; 6）通过在外部的控制信号而共用输出信号线的可选择的顺序排列。

公开(公告)号：EP0454284A1

公开(公告)日：1991-10-30

申请号：EP91250113.7

申请日：1991-04-25

Applicant: Florek, Stefan, Dr. ,  Becker-Ross, Helmut, Dr.

Inventor： Florek, Stefan, Dr. Dipl.-Phys. ,  Güther, Reiner, Dr. ,  Becker-Ross, Helmut, Dr. Dipl.-Phys.

IPC: G01J3/12

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/20

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Spektrometer, das in der Spektroskopie für die Analysenmeßtechnik eingesetzt werden kann.
Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Spektrometer zwischen Eintrittsspalt (7) und Beugungsgitter (2) als Element zur Bildfeldebnung ein mit mindestens zwei optisch wirksamen Flächen versehener Körper (9,10) geringer Brechkraft und merklichem sekundären Spektrum angeordnet ist.

Abstract translation: 本发明涉及可用于分光计量学的光谱仪中的光谱仪。 本发明的特征在于，在入射狭缝（7）和折射光栅（2）之间布置具有低折射光焦度和具有标记二次光谱并且具有至少两个光学活性表面的元件（9,10）作为场平坦化元件 ）光谱仪。

公开(公告)号：WO2010086283A3

公开(公告)日：2010-11-25

申请号：PCT/EP2010050774

申请日：2010-01-25

Applicant: LEIBNIZ INST FUER ANALYTISCHE WISSENSCHAFTEN ISAS E V ,  BECKER-ROSS HELMUT ,  FLOREK STEFAN ,  OKRUSS MICHAEL

Inventor： BECKER-ROSS HELMUT ,  FLOREK STEFAN ,  OKRUSS MICHAEL

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0213 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1828

Abstract: An echelle spectrometer arrangement (10) with internal order separation contains an echelle grating (34) and a dispersing element (38) for order separation so that a two-dimensional spectrum having a plurality of separate orders (56) can be generated, an imaging optical system (18, 22, 28, 46), a flat-panel detector (16), and predispersion means (20) for predispersing the radiation into the direction of traverse dispersion of the dispersion element (38). The arrangement is characterized in that the predispersion means (20) comprise a predispersion element which is arranged along the optical path behind the inlet spacing (12) inside the spectrometer arrangement. The imaging optical system is designed in such a manner that the predispersed radiation can be imaged onto an additional image plane (24) which does not have any boundaries in the predispersion direction and which is arranged along the optical path between the predispersion element (20) and the echelle grating (34). Optical means (20, 68) in the area of the predispersed spectrum are arranged to influence the spatial and/or the spectral beam density distribution on the detector (16).

Abstract translation: 中阶梯光谱仪装置（10）具有内部顺序分离包含该订单的分离的阶梯光栅（34）和分散元件（38），从而产生与多个单独的命令（56）的二维频谱，成像光学系统（18 ，22，28，46），一个表面检测器（16），和Vordispersionsmittel（20）（在分散体38）的横向分散体的方向上的辐射的预分散体。 该装置的特征在于，所述Vordispersionsmittel（20）包括其沿着光谱仪组件内的入口狭缝（12）的后面的光路布置在vordispergierendes元件，所述成像光学器件被配置为使得在一个附加的预分散辐射 在Vordispersionsrichtung限制自由图像平面（24）可以被成像，这是沿着vordispergierendem元件（20）之间的光路设置与阶梯光栅（34）和光学装置（20，68）在预分散的频谱的用于影响的空间位置和 /或设置在检测器（16）上的光谱辐射亮度分布。

公开(公告)号：WO0239077A3

公开(公告)日：2002-10-17

申请号：PCT/EP0112750

申请日：2001-11-03

Applicant: GES ZUR FOERDERUNG ANGEWANDTER OPTIK OPTOELEKTRONIK QUANTENELEKTRONIK & SPEKTROSKOPIE EV ,  GES FOERDERUNG SPEKTROCHEMIE ,  FLOREK STEFAN ,  OKRUSS MICHAEL ,  BECKER-ROSS HELMUT

Inventor： FLOREK STEFAN ,  OKRUSS MICHAEL ,  BECKER-ROSS HELMUT

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/18 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/06 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/28 ,  G01J2003/2866

Abstract: A method for the wavelength calibration of echelle spectra, in which the wavelengths are distributed across number of orders is characterised by the steps: recording of a line-rich reference spectrum with known wavelengths for a number of the lines, determination of the position of a number of peaks of the reference spectrum in the recorded spectrum, selection of at least two first lines of known order, position and wavelength, determination of a wavelength scale for the order in which the known lines lie, by means of a fit function gamma m (x), determination of a provisional wavelength scale gamma (x) for at least one neighbouring order m 1, by means of addition/subtraction of a wavelength difference gamma FSR which corresponds to a free spectral region, according to gamma m 1(x) = gamma m (x) gamma FSR with gamma FSR= gamma m(x)/m, determination of the wavelengths of lines in said neighbouring order m 1, by means of the provisional wavelength scale gamma 1(x), replacement of the provisional wavelength of at least two lines by the reference wavelength for said lines as obtained in step (a) and repeat of steps (d) to (g) for at least one further neighbouring order.

Abstract translation: 一种用于Echellespektren的波长校准方法，其分布在多个订单的波长，其特征在于以下步骤：接收具有已知波长的富线参考频谱的多条线，确定在所述捕获的多个参考光谱的峰的位置 光谱，选择至少两个第一线与已知的顺序，位置和波长。 确定的波长尺度对于其中已知线的顺序，通过拟合函数的λM（X），确定临时波长标度的λ米+/- 1（x）的至少一个相邻的m阶由加/减的波长差+/- 1 通过拉姆达米+/- 1（x）的对应于自由光谱范围DELTA拉姆达FSR =拉姆达M（X）+/- DELTA拉姆达FSR，与DELTA拉姆达=拉姆达FSR M（X）/米。 通过临时波长标度的λm表示，确定线路的波长在该相邻的m阶+/- 1 +/- 1（x）时，由下面的步骤替换至少两行的临时波长（a）中规定的Refernzwellenlänge图像此线，并重复步骤 （d）至（g）对于至少一个另外的相邻顺序。

公开(公告)号：WO2010086283A2

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：PCT/EP2010/050774

申请日：2010-01-25

Applicant: LEIBNIZ - INSTITUT FÜR ANALYTISCHE WISSENSCHAFTEN - ISAS - E.V. ,  BECKER-ROSS, Helmut ,  FLOREK, Stefan ,  OKRUSS, Michael

Inventor： BECKER-ROSS, Helmut ,  FLOREK, Stefan ,  OKRUSS, Michael

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/28 ,  G01J3/02

CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0213 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1828

Abstract: Eine Echelle-Spektrometeranordnung (10) mit interner Ordnungstrennung enthält ein Echelle-Gitter (34) und ein dispergierendes Element (38) zur Ordnungstrennung, so dass ein zweidimensionales Spektrum mit einer Mehrzahl von getrennten Ordnungen (56) erzeugbar ist, eine abbildende Optik (18, 22, 28, 46), einen Flächendetektor (16), und Vordispersionsmittel (20) zur Vordispersion der Strahlung in Richtung der Querdispersion des dispergierenden Elementes (38). Die Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Vordispersionsmittel (20) ein vordispergierendes Element umfassen, welches entlang des optischen Weges hinter dem Eintrittsspalt (12) innerhalb der Spektrometer-Anordnung angeordnet ist, die abbildende Optik derart ausgebildet ist, dass die vordispergierte Strahlung in eine zusätzliche, in Vordispersionsrichtung begrenzungsfreie Bildebene (24) abbildbar ist, welche entlang des optischen Weges zwischen vordispergierendem Element (20) und Echellegitter (34) angeordnet ist, und optische Mittel (20, 68) am Ort des vordispergierten Spektrums zur Beeinflussung der räumlichen und/oder spektralen Strahldichteverteilung am Detektor (16) vorgesehen sind.

Abstract translation: 中阶梯光谱仪装置（10）具有内部顺序分离包含该订单的分离的阶梯光栅（34）和分散元件（38），从而产生与多个单独的命令（56）的二维频谱，成像光学系统（18 ，22，28，46），一个表面检测器（16），和Vordispersionsmittel（20）（在分散体38）的横向分散体的方向上的辐射的预分散体。 该装置的特征在于，所述Vordispersionsmittel（20）包括其沿着光谱仪组件内的入口狭缝（12）的后面的光路布置在vordispergierendes元件，所述成像光学器件被配置为使得在一个附加的预分散辐射 在Vordispersionsrichtung限制自由图像平面（24）可以被成像，这是沿着在预分散的频谱的位置vordispergierendem元件（20）和阶梯光栅（34）和光学装置（20，68）之间的光路设置用于影响的空间和/或 提供了检测器（16）上的光谱辐射亮度分布。

公开(公告)号：WO2005121723A1

公开(公告)日：2005-12-22

申请号：PCT/EP2005/052517

申请日：2005-06-02

Applicant: GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG ANGEWANDTER OPTIK, OPTOELEKTRONIK, QUANTENELEKTRONIK UND SPEKTROSKOPIE E.V. ,  GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER SPEKTROCHEMIE UND ANGEWANDTEN SPEKTROSKOPIE E.V. ,  BECKER-ROSS, Helmut ,  FLOREK, Stefan ,  WESEMANN, Günter ,  OKRUSS, Michael

Inventor： BECKER-ROSS, Helmut ,  FLOREK, Stefan ,  WESEMANN, Günter ,  OKRUSS, Michael

IPC: G01J3/18

CPC classification number: G01J3/1809 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0232 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/08 ,  G01J3/12 ,  G01J3/2803

Abstract: Eine Spektrometer-Anordnung (10) mit einem Spektrometer (14) zur Erzeugung eines Spektrums eines ersten Wellenlängenbereichs von Strahlung aus einer Strahlungsquelle auf einem Detektor (42), enthält ein Echelle-Gitter (36) zur spektralen Zerlegung der in die Spektrometer-Anordnung (10) eintretenden Strahlung in einer Hauptdispersionsrichtung (46), ein dispergierendes Element (34) zur Ordnungstrennung mittels spektraler Zerlegung der Strahlung in einer Querdispersionsrichtung (48), welche einen Winkel mit der Hauptdispersionsrichtung des Echelle-Gitters (36) bildet, so daß ein zweidimensionales Spektrum (50) mit einer Mehrzahl von getrennten Ordnungen (52) erzeugbar ist, eine abbildende Optik (24, 38) zur Abbildung der durch einen Eintrittsspalt (20) in die Spektrometer-Anordnung (10) eintretenden Strahlung in eine Bildebene (40) und einen Flächendetektor (42) mit einer zweidimensionale Anordnung einer Vielzahl von Detektorelementen in der Bildebene (40). Die Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß ein weiteres Spektrometer (12) mit wenigstens einem weiteren dispergierenden Element (64) und einer weiteren abbildenden Optik (60, 66) vorgesehen ist zur Erzeugung eines Spektrums (68) eines von dem ersten Wellenlängenbereich unterschiedlichen zweiten Wellenlängenbereichs von Strahlung aus einer Strahlungsquelle auf demselben Detektor (42). Die Spektren können flächenmäßig oder zeitlich auf dem Detektor getrennt werden.

Abstract translation: 光谱仪组件（10）具有用于检测器（42）上产生第一波长范围从辐射源辐射的的光谱的光谱仪（14），一个阶梯光栅包括：（36），用于的所述光谱分离（在光谱仪组件 10）在横向分散方向在用于订单的分离的主分散方向（46），分散元件（34）进入的辐射通过辐射的频谱分解的装置（48），其形成与所述阶梯光栅（36）的主分散方向的角度，使得一个二维 具有多个单独的命令（52）的频谱（50）中产生，用于成像的成像光学系统（24，38）通过一个入口狭缝（20）到光谱仪组件（10）在图像平面（40）进入的辐射和 具有多个在图像平面（40）检测器元件的二维排列的表面检测器（42）。 该装置的特征在于，进一步的光谱仪（12）与至少一个另外的分散元件（64）和另外的成像光学系统（60，66）被设置用于从所述第一波长范围的第二波长范围的产生不同的光谱（68） 从相同的检测器（42）上的辐射源的辐射。 该谱可以在面积方面，或在检测器上的其他次。

公开(公告)号：WO1992021948A1

公开(公告)日：1992-12-10

申请号：PCT/EP1992001270

申请日：1992-06-05

Applicant: BODENSEEWERK PERKIN-ELMER GMBH ,  FLOREK, Stefan ,  BECKER-ROSS, Helmut

Inventor： BODENSEEWERK PERKIN-ELMER GMBH

IPC: G01J03/12

CPC classification number: G01J3/14 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/22 ,  G01J3/2803 ,  G01J2003/1208 ,  G01J2003/1286 ,  G01J2003/1828

Abstract: A monochromator (14) with a prism (20) is disposed so that light passes through it before passing on to an echelle polychromator (50). The linear dispersion of the monochromator (14) can be changed by changing the angular dispersion of the prism (20). This makes it possible to investigate, at high resolution, using an echelle grating (54), a particular spectral position and the region close to it. Care is taken that, depending on the mean wavelength being observed, not only is the detector array (66) of the polychromator (50) completely used, but also interfering orders are kept away from the polychromator (50). The linear dispersion of the monchromator can be changed for this purpose.

公开(公告)号：WO2008155169A1

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：PCT/EP2008/055755

申请日：2008-05-09

Applicant: GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANALYTISCHEN WISSENSCHAFTEN e.V. ,  GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG ANGEWANDTER OPTIK, OPTOELEKTRONIK, QUANTENELEKTRONIK UND SPEKTROSKOPIE e. V. ,  BECKER-ROSS, Helmut ,  OKRUSS, Michael ,  FLOREK, Stefan

Inventor： BECKER-ROSS, Helmut ,  OKRUSS, Michael ,  FLOREK, Stefan

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/08 ,  G01J3/18 ,  G01J3/22 ,  G01J3/28 ,  G01J3/32

CPC classification number: G01J3/22 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/08 ,  G01J3/1809 ,  G01J3/2823 ,  G01J3/32

Abstract: Eine Spektrometer-Anordnung (10) mit einem Spektrometer zur Erzeugung eines Spektrums von Strahlung aus einer Strahlungsquelle auf einem Detektor (34), enthaltend eine abbildende, optische Littrow-Anordnung (18, 20) zur Abbildung der in die Spektrometer-Anordnung eintretenden Strahlung (16) in eine Bildebene, eine erste Dispersionsanordnung (28, 30) zur spektralen Zerlegung eines ersten Wellenlängenbereichs der in die Spektrometer-Anordnung eintretenden Strahlung, eine zweite Dispersionsanordnung (58, 60) zur spektralen Zerlegung eines zweiten Wellenlängenbereichs der in die Spektrometer-Anordnung eintretenden Strahlung, und einen gemeinsamen in der Bildebene der abbildenden Optik angeordneten Detektor (34), ist dadurch gekennzeichnet, dass die abbildende optische Anordnung (18, 20) ein zwischen zwei Stellungen (20, 50) bewegliches Element (20) umfasst, wobei die in die Spektrometer-Anordnung eintretende Strahlung in der ersten Stellung über die erste Dispersionsanordnung und in der zweiten Stellung über die zweite Dispersionsanordnung geleitet wird.

Abstract translation: 光谱仪组件（10）配有光谱分析仪，以产生来自辐射源的辐射的光谱包含的成像光学利特罗-装置（18，20）（用于空气的成像检测器（34）进入该光谱仪装置上的辐射 中图像平面传入16），第一分散装置（28，30），用于第一波长范围内进入光谱仪装置的辐射，第二分散装置（58，60），用于在第二波长范围中的光谱仪装置的频谱分解的空气的频谱分解 辐射，和一个共同布置在成像光学检测器（34）的像面，其特征在于所述成像光学装置（18，20）包括两个位置（20，50）可动元件（20）之间，在所述 经由所述第一分散液中的光谱仪装置入射的辐射在所述第一位置中的布置和 经由第二分散装置第二位置被路由。

公开(公告)号：WO2004055838A1

公开(公告)日：2004-07-01

申请号：PCT/EP2003/013950

申请日：2003-12-09

Applicant: GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG ANGEWANDTER OPIK, OPTOELEKTRONIK, QUANTENELEKTRONIK UND SPEKTROSKOPIE E.V. ,  GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER SPEKTROCHEMIE UND ANGEWANDTEN SPEKTROSKOPIE E.V. ,  FLOREK, Stefan ,  BECKER-ROSS, Helmut ,  TISCHENDORF, Reinhard ,  WESEMANN, Günter

Inventor： FLOREK, Stefan ,  BECKER-ROSS, Helmut ,  TISCHENDORF, Reinhard ,  WESEMANN, Günter

IPC: H01F7/16

CPC classification number: H01F7/1607

Abstract: Ein Stellmotor für axiale Stellbewegungen mit einer Magnetwicklung und einem axial beweglich gelagerten Anker (24), ist dadurch gekennzeichnet, dass der Anker (24) durch in axialer Richtung durchbiegbare Blattfederstrukturen (46) gelagert ist. Bei dem Stellmotor kann jede der Blattfederstrukturen von einer an ihrem Rand eingespannten Blechmembran (46) gebildet sein, die einen einer annähernd geschlossene Kurve (56) unter Bildung eines ersten radialen Stegs (58) folgenden äusseren Durchbruch (60) und einen sich innerhalb des äusseren Durchbruchs erstreckenden, einer annähernd geschlossenen Kurve (62) unter Bildung eines zweiten radialen Stegs (64) folgenden inneren Durchbruch (66) aufweist, wobei die beiden Stege im wesentlichen einander diametral gegenüberliegen. Die Kurven (56, 62) können konzentrische Kreisbögen sein.

Abstract translation: 一种用于与磁线圈和一个轴向可移动地支撑电枢（24）轴向地调整伺服马达，其特征在于，所述电枢（24）由可偏转的板簧结构（46）的轴向方向上被支撑。 其中致动器电动机，每个板簧结构可以通过一个在其边缘片膜（46），一个几乎闭合曲线（56）的下面一个夹紧形成，以形成一个第一径向腹板（58），所述外通道（60）和一个向内的外 延伸的开口，一个几乎闭合曲线（62），以形成所述内开口（66）之后的第二径向腹板（64），其特征在于，两个腹板基本上彼此面对的直径。 曲线（56，62）可以是同心的圆弧。