Abstract:
An antireflective hardmask composition layer including a polymer having Si-O and non- silicon inorganic units in its backbone. The polymer includes chromophore and transparent moieties and a crosslinking component. The antireflective hardmask composition layer is employed in a method of forming a patterned material on a substrate.
Abstract:
The invention relates to a device (1) for driving an electric motor (2), particularly a DC motor in a battery-operated electric tool. Said driving device (1) comprises a power circuit (3) encompassing at least one power semiconductor (4, 5), especially for controllably applying a voltage to the electric motor (2). The driving device (1) further comprises a control circuit (6) for controlling the power semiconductor (4, 5) in such a way that the electric motor (2) can be operated at an adjustable rotational speed, an adjustable torque, or the like. The driving device (1) also comprises a switching module (8) for turning on and/or off the electric motor (2). The switching module (8) is fitted with an actuator (7) that can be moved from a starting position. The power circuit (3) has a branch (9, 10) comprising a power semiconductor (4, 5) for clockwise and counterclockwise rotation of the electric motor (2). An electric switch (11), particularly in the form of a two-way contact, is disposed in the power circuit (3) in order to adjust the respective branch (9, 10).
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung (1) zur Ansteuerung eines Elektromotors (2), insbesondere eines Gleichstrommotors in einem Akku-Elektrowerkzeug. Die Ansteuereinrichtung (1) umfasst eine Leistungsschaltung (3) mit wenigstens einem Leistungshalbleiter (4, 5), insbesondere zum steuerbaren Anlegen einer elektrischen Spannung an den Elektromotor (2), sowie eine Steuerschaltung (6) zur Steuerung des Leistungshalbleiters (4, 5), derart daß der Elektromotor (2) mit einer einstellbaren Drehzahl, einem einstellbaren Drehmoment o. dgl. betreibbar ist. Weiter umfaßt die Ansteuereinrichtung (1) ein Schaltmodul (8) zum Ein- und/oder Ausschalten des Betriebs für den Elektromotor (2), wobei das Schaltmodul (8) mit einem aus einer Ausgangsstellung verstellbaren Betätigungsorgan (7) versehen ist. Die Leistungsschaltung (3) weist einen Zweig (9, 10) mit einem Leistungshalbleiter (4, 5) für den Rechts- sowie den Linkslauf des Elektromotors (2) auf. In der Leistungsschaltung (3) ist ein elektrischer Schalter (11), insbesondere in der Art eines Wechselkontakts, zur Einstellung des jeweiligen Zweiges (9, 10) angeordnet.
Abstract:
The present invention comprises a method for forming a hardmask including the steps of depositing a polymeric preceramic precursor film atop a substrate; converting the polymeric preceramic precursor film into at least one ceramic layer, where the ceramic layer has a composition of SivNWCXOyHZ where 0.1
Abstract translation:本发明包括一种用于形成硬掩模的方法,包括以下步骤:在基底顶上沉积聚合物预陶瓷前体膜; 将聚合物陶瓷前体膜转化为至少一个陶瓷层,其中陶瓷层具有SivNWCXOyHZ的组成,其中0.1≤v≤0.9,0<= w <0.5,0.05 <= x <= 0.9,0
Abstract:
The present invention comprises a method for forming a hardmask including the steps of depositing a polymeric preceramic precursor film atop a substrate; converting the polymeric preceramic precursor film into at least one ceramic layer, where the ceramic layer has a composition of Si v N W C X O y H Z where 0.1≤ v≤ 0.9, 0≤w v N W C X O y H Z where 0.05
Abstract translation:本发明包括一种用于形成硬掩模的方法,包括以下步骤:在基底顶上沉积聚合物预陶瓷前体膜; 将聚合物陶瓷前体膜转化为至少一个陶瓷层,其中陶瓷层具有SivNWCXOyHZ的组成,其中0.1 <= v <= 0.9,0 <= w <0.5,0.05 <= x <= 0.9,0
Abstract:
An emission map of a circuit to be tested for alterations is obtained by measuring the physical circuit to be tested. An emission map of a reference circuit is obtained by measuring a physical reference circuit or by simulating the emissions expected from the reference circuit. The emission map of the circuit to be tested is compared with the emission map of the reference circuit, to determine presence of alterations in the circuit to be tested, as compared to the reference circuit.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Steuergerät, insbesondere einen elektrischen Schalter (4) zur Verwendung für ein Elektrohandwerkzeug (1), wie ein Akku- und/oder Netz- Elektrowerkzeug, beispielsweise Bohrmaschinen, Schleifer, Sägen, Hobel, Winkelschleifer o. dgl., mit einem Elektromotor (3). Der Schalter (4) besitzt ein Gehäuse (5) zur Aufnahme wenigstens eines wärmeerzeugendes Bauteils, wie eines Leistungstransistors, eines MOS- FETs, eines Triacs o. dgl., das insbesondere in einer elektrischen Schaltungsanordnung, die beispielsweise zur Steuerung und/oder Regelung des Elektromotors (3) durch entsprechende Steuerung und/oder Regelung des durch das Bauteil zum Elektromotor (3) fließenden elektrischen Laststroms dient, angeordnet ist. Ein Mittel (8) zur Wärmeleitung steht einerseits mit dem Gehäuse (5) des elektrischen Schalters (4) und/oder mit dem wärmeerzeugenden Bauteil, insbesondere mit dem im Gehäuse (5) befindlichen Leistungshalbleiter, und andererseits mit einem dem Schalter (4) zugeordneten gekühlten Bereich (9) in Verbindung.
Abstract:
The present invention comprises an interconnect structure including a metal, interlayer dielectric and a ceramic diffusion barrier formed therebetween where the ceramic diffusion barrier has a composition, SivNwCxOyHz, where 0.1
Abstract translation:本发明包括在其间形成的金属,层间电介质和陶瓷扩散阻挡层的互连结构,其中陶瓷扩散阻挡层具有组成SivNwCxOyHz,其中0.1 <= v <= 0.9,0 <= w <= 0.5,0.01 < = x <= 0.9,0 <= y <= 0.7,0.01 <= z <= 0.8对于v + w + x + y + Z = 1。 陶瓷扩散阻挡层用作金属的扩散阻挡层,即铜。 本发明还包括一种用于形成本发明的陶瓷扩散阻挡层的方法,包括沉积具有组成SivNwCxOyHz的聚合物预陶瓷的步骤,其中0.1
Abstract:
The present invention comprises an interconnect structure including a metal, interlayer dielectric and a ceramic diffusion barrier formed therebetween where the ceramic diffusion barrier has a composition, Si v N w C x O y H z , where 0.1≤v≤0.9, 0≤w≤0.5, 0.01≤x≤0.9, 0≤y≤0.7, 0.01≤z≤0.8 for v+w+x+y+Z=1. The ceramic diffusion barrier acts as a diffusion barrier to metals, i.e., copper. The present invention also comprises a method for forming the inventive ceramic diffusion barrier including the steps depositing a polymeric preceramic having a composition Si v N w C x O y H z , where 0.1
Abstract translation:本发明包括在其间形成的金属,层间电介质和陶瓷扩散阻挡层的互连结构,其中陶瓷扩散阻挡层具有组成SivNwCxOyHz,其中0.1 <= v <= 0.9,0 <= w <= 0.5,0.01 < = x <= 0.9,0 <= y <= 0.7,0.01 <= z <= 0.8对于v + w + x + y + Z = 1。 陶瓷扩散阻挡层用作金属的扩散阻挡层,即铜。 本发明还包括一种用于形成本发明的陶瓷扩散阻挡层的方法,包括沉积具有组成SivNwCxOyHz的聚合物预陶瓷的步骤,其中0.1