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公开(公告)号：CN109690759A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780054916.7
申请日：2017-09-04
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 一种半导体装置的制造方法，其包括：准备在表面具有连接端子(30)的多个半导体芯片(40)被埋入于封装材料(10)的内部而成的结构体的工序；在结构体中埋入有半导体芯片(40)的连接端子(30)的一侧的表面上的区域形成第1绝缘性树脂膜(60)的工序；在第1绝缘性树脂膜(60)和结构体形成使连接端子(30)的一部分露出的第1开口部(250)的工序；以覆盖露出的连接端子(30)和第1绝缘性树脂膜(60)的方式形成导电膜(110)的工序；和在导电膜(110)的表面形成第2绝缘性树脂膜(70)，在第2绝缘性树脂膜(70)形成使导电膜(110)的一部分露出的第2开口部(300)的工序。在形成第2开口部(300)的工序中，在第2绝缘性树脂膜(70)中形成于半导体芯片(40)上的区域的外部形成第2开口部(300)。并且，上述制造方法的特征在于，作为构成第1绝缘性树脂膜(60)的树脂材料，使用含有碱溶性树脂的感光性树脂组合物，并且对于由该感光性树脂组合物构成的液滴，通过悬滴法测得的该液滴的表面张力在20mN/m以上45mN/m以下。
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公开(公告)号：CN109690759B
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201780054916.7
申请日：2017-09-04
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 一种半导体装置的制造方法，其包括：准备在表面具有连接端子(30)的多个半导体芯片(40)被埋入于封装材料(10)的内部而成的结构体的工序；在结构体中埋入有半导体芯片(40)的连接端子(30)的一侧的表面上的区域形成第1绝缘性树脂膜(60)的工序；在第1绝缘性树脂膜(60)和结构体形成使连接端子(30)的一部分露出的第1开口部(250)的工序；以覆盖露出的连接端子(30)和第1绝缘性树脂膜(60)的方式形成导电膜(110)的工序；和在导电膜(110)的表面形成第2绝缘性树脂膜(70)，在第2绝缘性树脂膜(70)形成使导电膜(110)的一部分露出的第2开口部(300)的工序。在形成第2开口部(300)的工序中，在第2绝缘性树脂膜(70)中形成于半导体芯片(40)上的区域的外部形成第2开口部(300)。并且，上述制造方法的特征在于，作为构成第1绝缘性树脂膜(60)的树脂材料，使用含有碱溶性树脂的感光性树脂组合物，并且对于由该感光性树脂组合物构成的液滴，通过悬滴法测得的该液滴的表面张力在20mN/m以上45mN/m以下。
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公开(公告)号：CN107924122A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680043471.8
申请日：2016-07-20
Applicant: 住友电木株式会社
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物为用于形成永久膜的感光性树脂组合物，其包含：(A)聚酰胺树脂，该聚酰胺树脂具备选自聚苯并噁唑结构、聚苯并噁唑前体结构、聚酰亚胺结构和聚酰亚胺前体结构中的结构；(B)光酸产生剂；(C)密合助剂；和(D)有机溶剂，所述(D)有机溶剂包含在分子内具有醚键和酰胺键的化合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103003752A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180027412.9
申请日：2011-06-02
Applicant: 住友电木株式会社
CPC classification number: G03F7/004 , C08F2/00 , C08F2/20 , C08G73/02 , C08G73/1032 , C08G73/1067 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/0233
Abstract: 一种至少含有（A）碱可溶性树脂、（B）光氧发生剂、（C）表面活性剂和（D）有机溶剂的感光性树脂组合物的制造方法，包括：得到含有（C）表面活性剂和（D）有机溶剂、且不含有（A）碱可溶性树脂和（B）光氧发生剂的分散液的工序，和在该分散液中添加（A）碱可溶性树脂和（B）光氧发生剂的工序。
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公开(公告)号：CN105022228B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201510218992.X
申请日：2015-04-30
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor： 田中裕马
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/038 , H05K3/287 , H05K2201/0989
Abstract: 本发明的感光性树脂材料为一种用于形成永久膜的感光性树脂材料，其含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物，通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下，作为所述铁，含有非离子性的铁。
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公开(公告)号：CN105022228A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510218992.X
申请日：2015-04-30
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor： 田中裕马
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/038 , H05K3/287 , H05K2201/0989
Abstract: 本发明的感光性树脂材料为一种用于形成永久膜的感光性树脂材料，其含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物，通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下，作为所述铁，含有非离子性的铁。
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公开(公告)号：CN102985880A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201180034094.9
申请日：2011-07-05
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/30 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/20 , G03F7/0233 , G03F7/40 , G03F7/405
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物的固化膜形成方法，其是在支撑体上形成正型感光性树脂组合物的固化膜的方法，包括：在上述支撑体上涂敷上述正型感光性树脂组合物的涂敷工序；对上述正型感光性树脂组合物有选择地照射化学射线进行曝光的曝光工序；用碱性显影液对上述正型感光性树脂组合物的曝光部进行显影的显影工序；用清洗液清洗上述显影液，并且将上述正型感光性树脂组合物的曝光部除去的清洗工序；和对上述正型感光性树脂组合物进行加热，形成固化膜的固化工序，上述清洗工序包括：在使上述支撑体以圆周速度0.53m/s以下旋转的同时供给上述清洗液的第一清洗工序；和在使上述支撑体以比上述第一清洗工序快的圆周速度旋转的同时供给上述清洗液的第二清洗工序。
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