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公开(公告)号:CN101624168A
公开(公告)日:2010-01-13
申请号:CN200910159751.7
申请日:2009-07-10
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2207/07 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084 , Y10T29/42
Abstract: 本发明的传感器具备:框部;从该框部向内侧方向突出的多个梁部;通过梁来支撑重锤部;配置在梁部的压电电阻元件;以及被覆压电电阻元件的绝缘层,其中,压电电阻元件具有1个以上的折叠部,在位于该折叠部的绝缘层上配置金属布线,将该金属布线经由形成在绝缘层的2个以上的接触孔连接到折叠部,在位于压电电阻元件的两端部的绝缘层设置接触孔,使电桥电路布线经由该接触孔连接到压电电阻元件。
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公开(公告)号:CN101624168B
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN200910159751.7
申请日:2009-07-10
Applicant: 大日本印刷株式会社
CPC classification number: B81B3/0081 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2207/07 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084 , Y10T29/42
Abstract: 本发明的传感器具备:框部;从该框部向内侧方向突出的多个梁部;通过梁来支撑重锤部;配置在梁部的压电电阻元件;以及被覆压电电阻元件的绝缘层,其中,压电电阻元件具有1个以上的折叠部,在位于该折叠部的绝缘层上配置金属布线,将该金属布线经由形成在绝缘层的2个以上的接触孔连接到折叠部,在位于压电电阻元件的两端部的绝缘层设置接触孔,使电桥电路布线经由该接触孔连接到压电电阻元件。
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