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公开(公告)号：CN1696672A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200510069673.3
申请日：2005-05-10
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G01N21/896 , G01N2021/9513 , G01N2201/1085
Abstract: 一种根据表面发射的光的强度来检测材料表面的表面检测装置，包括：照射光到表面上的照射单元；和检测该表面反射的光的强度的检测单元。光的强度分布是越接近表面光强度越高。
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