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发明公开
感光性树脂组合物、感光性树脂层叠体、及抗蚀图案的形成方法审中-实审

公开(公告)号：CN118541643A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202380016745.4

申请日：2023-01-13

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 宇野大介 , 樱井隆觉 , 西本秀昭 , 松尾裕树

IPC: G03F7/033 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/029 , H05K3/00

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其中，在碱溶性高分子的共聚单体成分中，至少控制酸共聚单体成分的种类及比率，能够实现各种特性的提高。感光性树脂组合物含有以下成分：(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和键的化合物、及(C)光聚合引发剂；(A)成分至少具有源自下述共聚单体成分的结构单元：(a)甲基丙烯酸或丙烯酸、(b)不同于作为上述(a)成分所选择的酸的羧酸、及(c)具有芳香族结构或脂环式结构的化合物；(A)成分中，源自(a)成分的结构单元的质量比例(a1)与源自(b)成分的结构单元的质量比例(b1)的比率(质量比例(a1)/质量比例(b1))为1/10～10。

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