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公开(公告)号：CN114114841A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111009525.8
申请日：2021-08-31
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 樱井隆觉
Abstract: 一种感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法。其课题在于，提供最小显影时间、分辨率、侧蚀(SE)量、对比度和渗出性中的至少一者优异的感光性树脂层叠体。一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具有支承体和使用感光性树脂组合物在前述支承体上形成的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物包含以下的成分：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)光波长550～700nm的吸光度增大的化合物和(E)有机显色剂，感光性树脂组合物层的膜厚超过0且为10μm以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112987496B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202011462119.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法，层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂，包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料，特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上；作为B成分，包含三官能以上的多官能单体和二官能单体；和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T，酸值A与厚度T之比为5～90。
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公开(公告)号：CN115903380A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211156119.9
申请日：2022-09-22
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体、以及使用该感光性树脂层叠的卷、抗蚀图案和结构体。提供一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，上述感光性树脂层和上述覆盖薄膜相接触，上述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且上述感光性树脂层含有：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。
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公开(公告)号：CN114967331A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210149893.0
申请日：2022-02-18
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 樱井隆觉
Abstract: [课题]提供能够降低针孔、并且能够实现微细化的感光性干膜。[解决手段]一种感光性干膜，其特征在于，具有(1)支承体、(2)感光性树脂层和(3)覆盖膜，(2)感光性树脂层含有以下的成分：(A)主链不含有烯属不饱和基团的碱溶性树脂；(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物；(C)光聚合引发剂；和(D)I/O值(无机性值/有机性值)超过0且为0.7以下、环中含有1个以上N原子的杂环化合物(其不包括含有巯基(‑SH基)的杂环化合物)。
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公开(公告)号：CN118541643A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202380016745.4
申请日：2023-01-13
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其中，在碱溶性高分子的共聚单体成分中，至少控制酸共聚单体成分的种类及比率，能够实现各种特性的提高。感光性树脂组合物含有以下成分：(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属不饱和键的化合物、及(C)光聚合引发剂；(A)成分至少具有源自下述共聚单体成分的结构单元：(a)甲基丙烯酸或丙烯酸、(b)不同于作为上述(a)成分所选择的酸的羧酸、及(c)具有芳香族结构或脂环式结构的化合物；(A)成分中，源自(a)成分的结构单元的质量比例(a1)与源自(b)成分的结构单元的质量比例(b1)的比率(质量比例(a1)/质量比例(b1))为1/10～10。
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公开(公告)号：CN112987496A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011462119.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法，层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂，包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料，特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上；作为B成分，包含三官能以上的多官能单体和二官能单体；和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T，酸值A与厚度T之比为5～90。
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