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公开(公告)号：CN106017297B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201610158104.4
申请日：2016-03-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种接触型探测器，其包括触针、传感器和两个平行的大致平板。触针具有触头。传感器具有大致为平坦的形状，并且包括固定部、可动部和各自由平板构成的至少三个薄壁部，其中在该薄壁部上气相沉积有应变传感器，以及触针安装于该可动部，并且该可动部经由薄壁部在至少三个位置处连结至固定部。两个平行的大致平板在相对的两侧连接至固定部，并且以维持可动部和两个平行的大致平板之间的预定距离的方式夹持可动部，并将可动部的移动限制于第一可动范围。传感器由于应变传感器响应于来自触针的测量力发生变形而输出接触信号。
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公开(公告)号：CN107044818A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201610866675.3
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测量探头和测量探头系统。一种测量探头(124)，其用于对设为能够相对于其相对旋转的滚珠丝杠(102)的螺纹槽(102A)进行测量，其包括：测头(126)，其具有能够与螺纹槽(102A)接触的顶端部(126A)；径向移位机构(127)，其将测头(126)支承成能够沿着朝向滚珠丝杠(102)的轴心(O)的(X)方向移位；轴向移位机构(131)，其将测头(126)支承能够沿着轴心(O)的轴向(Z方向)移位；以及传感器(135、136)，其用于对测头(126)的由径向移位机构(127)和轴向移位机构(131)产生的移位进行检测。由此，能够高精度地测量设为能够相对于其相对旋转的工件的侧面的预定的位置。
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公开(公告)号：CN1769860B
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200510117193.X
申请日：2005-11-02
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 日高和彦
Abstract: 一种表面性状测定用探针(60)，具有：探针头(65)、第1支承体(61)、第2支承体(62)、压电元件(63)、平衡器(64)。第1支承体具有：第1支承部(611)；3根梁(613)，其从等角度配置于第1支承部上的位置朝向中央延伸，用于将探针头(65)支承于其顶端。第2支承体(62)具有：第2支承部(621)；保持部(622)，其由多根梁(623)支承，该多根梁从等角度配置于该第2支承部上的位置朝向中央延伸。压电元件(63)配置于探针头与保持部之间，且沿轴向振动。
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公开(公告)号：CN110631448B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN201910502516.9
申请日：2019-06-11
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供了能够以高精度且在短时间内测量物体表面的测量装置和测量方法。本发明的一个方面是用于测量物体表面在第一方向和与第一方向正交的第二方向上的位置的测量装置。该测量装置包括：可移动体，其具有供物体安装的安装部、彼此不共面的第一表面和第二表面；第一标尺部，其被设置为对第一表面加压并沿着与第一表面的法线方向平行的第一标尺轴线测量第一标尺位置；第二标尺部，其被设置为对第二表面加压并沿着与第二表面的法线方向平行的第二标尺轴线测量第二标尺位置；第一探针，其具有设定在与第二方向平行的探针轴线上且设定在第一标尺轴线和第二标尺轴线的交点处的位置测量的基准点；以及第二探针，其测量沿着探针轴线的位置。
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公开(公告)号：CN111610581A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010106593.5
申请日：2020-02-21
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明提供一种透镜基板堆叠位置计算设备，即使形成在晶片基板上的每个透镜的位置在要堆叠的晶片透镜阵列之间有偏差，当多个晶片透镜阵列连结在一起时，设备也能计算光轴偏差落入允许范围内的透镜组的数量最大化时的堆叠位置。当二维排列有多个透镜的两个或更多透明基板被堆叠以形成每个包括两个或更多透镜的多个透镜组时，透镜基板堆叠位置计算设备计算要堆叠的两个或更多透明基板的位置关系。每个透镜的位置提前在共同坐标系中指定。透镜基板堆叠位置计算设备包括位置关系计算单元，用于通过预定计算方法计算两个或更多透明基板之间的相对位置关系，该相对位置关系使得构成透镜组的透镜之间的位置偏差的大小落入预定范围内的透镜组数量最大化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107044818B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201610866675.3
申请日：2016-09-29
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供一种测量探头和测量探头系统。一种测量探头(124)，其用于对设为能够相对于其相对旋转的滚珠丝杠(102)的螺纹槽(102A)进行测量，其包括：测头(126)，其具有能够与螺纹槽(102A)接触的顶端部(126A)；径向移位机构(127)，其将测头(126)支承成能够沿着朝向滚珠丝杠(102)的轴心(O)的(X)方向移位；轴向移位机构(131)，其将测头(126)支承能够沿着轴心(O)的轴向(Z方向)移位；以及传感器(135、136)，其用于对测头(126)的由径向移位机构(127)和轴向移位机构(131)产生的移位进行检测。由此，能够高精度地测量设为能够相对于其相对旋转的工件的侧面的预定的位置。
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公开(公告)号：CN106197354A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201510382742.X
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/14
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体(W)的接触部(312)，该移动构件(312)使接触部(348)能够沿轴向(O)移动；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件(RP)，该旋转构件通过旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头(300)包括：主体外壳(308)，其用于支承轴运动机构(310)；模块外壳(330)，其用于支承旋转运动机构(334)；以及位移检测器(328)，其被支承于主体外壳(308)，并用于检测移动构件(312)的位移。由此，能够保持低成本并且确保高测量精度。(348)；轴运动机构(310)，其具备移动构件
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公开(公告)号：CN106054954A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610214156.9
申请日：2016-04-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 能够在X方向上移动的触针支撑部与固定部分离配置。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(+)方向上的端部，板簧的第二端固定到所述固定部，板簧的主表面面对X方向。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(‑)方向上的端部，该板簧的第二端固定到所述固定部，该板簧的主表面面对X方向。第一永磁体设置到触针支撑部的X(+)方向上的端部。第二永磁体设置到触针支撑部的X(‑)方向上的端部。第三永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第一永磁体和第三永磁体之间。第四永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第二永磁体和第四永磁体之间。
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公开(公告)号：CN106017297A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610158104.4
申请日：2016-03-18
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种接触型探测器，其包括触针、传感器和两个平行的大致平板。触针具有触头。传感器具有大致为平坦的形状，并且包括固定部、可动部和各自由平板构成的至少三个薄壁部，其中在该薄壁部上气相沉积有应变传感器，以及触针安装于该可动部，并且该可动部经由薄壁部在至少三个位置处连结至固定部。两个平行的大致平板在相对的两侧连接至固定部，并且以维持可动部和两个平行的大致平板之间的预定距离的方式夹持可动部，并将可动部的移动限制于第一可动范围。传感器由于应变传感器响应于来自触针的测量力发生变形而输出接触信号。
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