-
公开(公告)号：CN111299018B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201911074571.9
申请日：2019-11-06
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种可顺畅地进行向自下方施加浮力来支撑基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或损伤的基板搬送装置及涂布装置。在本发明的基板搬送装置中，在将与基板的搬送方向正交的水平方向设为宽度方向时，基板支撑平台在俯视时与搬送辊在宽度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游侧端部至少延伸至搬送辊的旋转轴的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度与基板支撑面相同且与基板支撑面连接，由升降机构定位于上部位置的搬送辊搬送基板，直至俯视时基板的前端部到达较搬送辊的旋转轴更靠下游位置处，其后，升降机构使搬送辊下降至下部位置，由此将基板自搬送辊移交至基板支撑平台。
-
公开(公告)号：CN111299018A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201911074571.9
申请日：2019-11-06
Applicant: 株式会社斯库林集团
Abstract: 本发明提供一种可顺畅地进行向自下方施加浮力来支撑基板的平台搬送基板且防止基板的搬送不良或损伤的基板搬送装置及涂布装置。在本发明的基板搬送装置中，在将与基板的搬送方向正交的水平方向设为宽度方向时，基板支撑平台在俯视时与搬送辊在宽度方向上不同的位置具有搬送方向上的最上游侧端部至少延伸至搬送辊的旋转轴的位置的延伸部，延伸部的上表面的高度与基板支撑面相同且与基板支撑面连接，由升降机构定位于上部位置的搬送辊搬送基板，直至俯视时基板的前端部到达较搬送辊的旋转轴更靠下游位置处，其后，升降机构使搬送辊下降至下部位置，由此将基板自搬送辊移交至基板支撑平台。
-
Search Results
2
records
(took 0.032 seconds)
