公开(公告)号：CN101680856A

公开(公告)日：2010-03-24

申请号：CN200880015797.5

申请日：2008-04-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 中岛丰昭 ,  黑川裕次郎 ,  由利努 ,  田中领太 ,  吉田修尔

IPC: G01N27/62 ,  H01J49/42 ,  H01J41/10

CPC classification number: G01N27/62 ,  G01L21/30 ,  H01J41/10 ,  H01J49/0027

Abstract: 该质谱分析单元是包括对被测量气体的各质荷比的离子电流值进行检测并测量分压的质谱分析部的质谱分析单元，其进一步包括：控制部，预先保持使该质谱分析单元的特定部位的功能降低的特定气体的质荷比的记录；在通过所述质谱分析部检测出的所述特定气体的质荷比的离子电流值为规定值以上时，所述控制部输出表示所述特定部位功能降低的警告信号。