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公开(公告)号：CN101627302B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP1及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP2，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP1；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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公开(公告)号：CN101627302A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200880006881.0
申请日：2008-04-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP 1 及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP 2 ，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP 1 ；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。
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公开(公告)号：CN101680856A
公开(公告)日：2010-03-24
申请号：CN200880015797.5
申请日：2008-04-14
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: 该质谱分析单元是包括对被测量气体的各质荷比的离子电流值进行检测并测量分压的质谱分析部的质谱分析单元，其进一步包括：控制部，预先保持使该质谱分析单元的特定部位的功能降低的特定气体的质荷比的记录；在通过所述质谱分析部检测出的所述特定气体的质荷比的离子电流值为规定值以上时，所述控制部输出表示所述特定部位功能降低的警告信号。
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公开(公告)号：CN101180531A
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN200680017655.3
申请日：2006-05-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及一种安装在腔室的壁部，对在该腔室内存在的分析对象气体进行分析的质量分析装置，其特征在于，该装置包括：测定部，向所述腔室安装时插入所述腔室内，测定所述分析对象气体中气体成分的每一质荷比的分压；操作部，向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，操作所述测定部；和显示部，向所述腔室安装时位于所述壁部的外侧，显示所述测定部的测定结果，所述测定部、所述操作部和所述显示部相互靠近配设。
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公开(公告)号：US08296090B2
公开(公告)日：2012-10-23
申请号：US12595821
申请日：2008-04-02
Applicant: Junji Aoki , Hirokazu Kitaura , Said Boumsellek
Inventor： Junji Aoki , Hirokazu Kitaura , Said Boumsellek
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: A gas analyzer using a quadrupole mass spectrometric method etc. is provided with an ionizer to ionize a sample gas, a first ion detector and a second ion detector each configured to detect a respective ion from ionizer, and each being disposed a respective distance from the ionizer on an opposite side of the ionizer, the respective distances being different from each other, a filter interposed between the ionizer and the first ion detector to selectively allow ions from the ionizer to pass therethrough, and an arithmetic device to correct a partial pressure of a specific component obtained from the first ion detector and selected by the filter by using a first total pressure of the sample gas obtained from the first ion detector and a second total pressure of the sample gas obtained from the second ion detector.
Abstract translation: 使用四极质谱法的气体分析仪等设置有电离器，用于离子化样品气体，第一离子检测器和第二离子检测器，每个离子检测器和第二离子检测器被配置为检测来自电离器的相应离子， 电离器在离子交换器的相对侧上，各自的距离彼此不同，插入在离子发生器和第一离子检测器之间以选择性地允许来自离子发生器的离子通过的过滤器，以及用于校正离子发生器的分压的运算装置 由第一离子检测器获得的特定成分，并通过使用从第一离子检测器获得的样品气体的第一总压力和由第二离子检测器获得的样品气体的第二总压力由过滤器选择。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：US08138473B2
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：US12599301
申请日：2008-04-14
Applicant: Toyoaki Nakajima , Yujirou Kurokawa , Tsutomu Yuri , Ryota Tanaka , Shuji Yoshida
Inventor： Toyoaki Nakajima , Yujirou Kurokawa , Tsutomu Yuri , Ryota Tanaka , Shuji Yoshida
CPC classification number: G01N27/62 , G01L21/30 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: A mass spectrometry unit of the present invention includes a mass spectrometry portion that detects ion current values of a gas to be measured according to mass-to-charge ratio, to thereby measure partial pressures of the gas to be measured. The mass spectrometry unit further includes: a control portion for preliminary storing a record of a mass-to-charge ratio of a specific gas that decreases a function of a specific portion of the mass spectrometry unit, in which if an ion current value with the mass-to-charge ratio of the specific gas detected by the mass spectrometry portion is not less than a predetermined value, the control portion outputs a warning signal denoting a functional decrease in the specific portion.
Abstract translation: 本发明的质谱装置包括质量分数部，其根据质荷比检测待测气体的离子电流值，由此测定待测气体的分压。 所述质谱装置还包括：控制部，用于预先存储降低所述质谱分析装置的特定部分的功能的特定气体的质荷比的记录，其中如果所述特定气体的离子电流值与 由质谱部检测出的特定气体的质荷比不小于预定值，控制部分输出表示特定部分功能下降的警告信号。
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公开(公告)号：EP1895296B1
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：EP06746538.5
申请日：2006-05-17
Applicant: ULVAC, INC.
Inventor： Nakajima, Toyoaki , Yoshizawa, Hideki
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公开(公告)号：EP2141494A1
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：EP08739702.2
申请日：2008-04-02
Applicant: Horiba Stec, Co., Ltd.
Inventor： AOKI, Junji , KITAURA, Hirokazu , SAID, Boumsellek
IPC: G01N27/62
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: A gas analyzer using a quadrupole mass spectrometric method etc. is provided with an ionizer 211 to ionize a sample gas, a first ion detector 212 and a second ion detector 213 each configured to detect a respective ion from ionizer 211, and each being disposed a respective distance from the ionizer 211 on an opposite side of the ionizer 211, the respective distances being different from each other, a filter 214 interposed between the ionizer 211 and the first ion detector 212 to selectively allow ions from the ionizer 211 to pass therethrough, and an arithmetic device 3 to correct a partial pressure PP 1 of a specific component obtained from the first ion detector 212 and selected by the filter 214 by using a first total pressure TP 1 of the sample gas obtained from the first ion detector 212 and a second total pressure TP 2 of the sample gas obtained from the second ion detector 213.
Abstract translation: 使用四极质量分析法等的气体分析仪设置有用于离子化样品气体的离子发生器211，第一离子检测器212和第二离子检测器213，第一离子检测器212和第二离子检测器213均被配置为检测来自离子发生器211的各个离子， 在离子发生器211的相对侧上的离子发生器211的相应距离，各个距离彼此不同;过滤器214，置于离子发生器211和第一离子检测器212之间以选择性地允许离子发生器211的离子通过， 以及运算装置3，其使用从第一离子检测器212获得的样本气体的第一总压力TP1和从第一离子检测器212获得的第二总和来校正从第一离子检测器212获得并由过滤器214选择的特定成分的分压PP1 从第二离子检测器213获得的样本气体的压力TP2。
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">9.发明公开Improvements in operating quadrupole mass spectrometers in the broadband "RF only" mode 失效在“只有RF” -Breitbandmodus经营了四质谱仪。
公开(公告)号：EP0117717A2
公开(公告)日：1984-09-05
申请号：EP84301140.4
申请日：1984-02-22
Applicant: VG INSTRUMENTS GROUP LIMITED
Inventor： Batey, Jonathan Hugh
IPC: H01J49/42
CPC classification number: H01J41/10 , H01J49/4215
Abstract: This invention relates to a method of operating quadrupole mass spectrometers with only an RF potential applied to the filter rods so that the spectrometer operates to pass all ions above a particular value of m/e. In practice, spectrometers operated in this way usually show a marked loss in transmission efficiency for ions of high m/e when operated with an RF potential low enough to pass ions of m/e
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公开(公告)号：US20100076712A1
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：US12595821
申请日：2008-04-02
Applicant: Junji Aoki , Hirokazu Kitaura , Boumsellek Said
Inventor： Junji Aoki , Hirokazu Kitaura , Boumsellek Said
CPC classification number: H01J49/0009 , G01L21/30 , H01J41/02 , H01J41/10 , H01J49/0027
Abstract: A gas analyzer using a quadrupole mass spectrometric method etc. is provided with an ionizer 211 to ionize a sample gas, a first ion detector 212 and a second ion detector 213 each configured to detect a respective ion from ionizer 211, and each being disposed a respective distance from the ionizer 211 on an opposite side of the ionizer 211, the respective distances being different from each other, a filter 214 interposed between the ionizer 211 and the first ion detector 212 to selectively allow ions from the ionizer 211 to pass therethrough, and an arithmetic device 3 to correct a partial pressure PP1 of a specific component obtained from the first ion detector 212 and selected by the filter 214 by using a first total pressure TP1 of the sample gas obtained from the first ion detector 212 and a second total pressure TP2 of the sample gas obtained from the second ion detector 213.
Abstract translation: 使用四极质谱法的气体分析仪等设置有离子化器211以离子化样品气体，第一离子检测器212和第二离子检测器213，每个被配置为检测来自离子发生器211的各离子，并且每个离子化 在离子交换器211的相对侧上离离电离器211的相应距离，各自的距离彼此不同，插入在离子发生器211和第一离子检测器212之间的滤波器214，以选择性地允许来自离子发生器211的离子通过， 以及算术装置3，其通过使用从第一离子检测器212获得的样品气体的第一总压TP1和第二总量来校正由第一离子检测器212获得并由过滤器214选择的特定成分的分压PP1， 从第二离子检测器213获得的样品气体的压力TP2。
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