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公开(公告)号：CN109581820B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201811105201.2
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种曝光装置。在具有放电灯的曝光装置中，在不损害分辨率的前提下，通过期望的光谱分布的光，对掩膜、光调制元件阵列等进行照明。在具有设置了放电灯(20D)和椭圆镜(20M)的光源部(20)以及照明光学系统(11)的曝光装置(1)中，照明光学系统(11)由光学滤波器(13A～13C)、会聚透镜(14)、杆状透镜(15)、以及中继光学系统(16)构成，并且光学滤波器(13A～13C)、会聚透镜(14)、杆状透镜(15)、以及中继光学系统(16)是从光源部侧起依次配置的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109581820A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811105201.2
申请日：2018-09-21
Applicant: 株式会社ORC制作所
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/201 , G03F7/70008 , G03F7/70058 , G03F7/70091 , G03F7/70191
Abstract: 本发明提供一种曝光装置。在具有放电灯的曝光装置中，在不损害分辨率的前提下，通过期望的光谱分布的光，对掩膜、光调制元件阵列等进行照明。在具有设置了放电灯(20D)和椭圆镜(20M)的光源部(20)以及照明光学系统(11)的曝光装置(1)中，照明光学系统(11)由光学滤波器(13A～13C)、会聚透镜(14)、杆状透镜(15)、以及中继光学系统(16)构成，并且光学滤波器(13A～13C)、会聚透镜(14)、杆状透镜(15)、以及中继光学系统(16)是从光源部侧起依次配置的。
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公开(公告)号：CN101122383A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710139071.X
申请日：2007-07-24
Applicant: 株式会社ORC制作所
Abstract: 本发明提供一种灯装置，即使在灯装置上使用调整亮点位置用的接头，也能读取灯头的灯数据，管理灯的使用状态等。在灯的灯头结构体(20)的灯数据显示部(32)上显示与灯有关的数据。通过将灯头(19)固定在灯头座上的接头部(30)的窗部(36)可从外部观察灯数据显示部(32)。在灯头座上设置读取单元，经由接头部(30)的窗部(36)读取灯数据显示部(32)的数据。灯数据是利用条形码、二维码、字符、记号、符号、图形、图案等来表示制造年月日、制造商名、制造场所、制造生产线、灯类型、品种号、批号、识别号等灯的属性、以及额定电流、额定电压、冷却条件、在装置上的安装方向、使用限度时间等设定规格等数据。
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