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公开(公告)号：CN108140558A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201780001245.8
申请日：2017-05-12
Applicant: 爱德万测试株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种向产生多个带电粒子束的多个柱部分配电子束控制数据的曝光装置及曝光数据结构。本发明提供一种曝光装置以及这种曝光装置用的曝光数据结构及电子束控制数据的创建方法，所述曝光装置包括：多个柱部，产生沿第一方向排列的多个带电粒子束；柱控制部，单独控制带电粒子束的照射时刻；转换部，以描述器件图案的配置坐标的设计数据为基础转换成曝光数据，所述曝光数据由具有个带电粒子束的宽度并沿第二方向延伸的带状区域进行而成的第二数据和基于第一方向的位置指定该第二数据的第一数据构成；第一存储部，存储曝光数据；以及分配部，依照曝光顺序重构曝光数据并分配给各个柱部。
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